悬臂式压电双晶片振子夹持长度变化对其动态特性的影响_程光明.pdf

第 卷 第 期 光学精密工程 ２２ ５ 　 Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．５ 　 　 　 　　 　　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ 年 月 ｐ 　 　 　 ｇ ｇ ２０１４ ５ Ｍａ ．２０１４ 　 　 　 ｙ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ ２０１４０５１２９６０８ 　 － － － 悬臂式压电双晶片振子夹持长度变化 对其动态特性的影响 ， ， １２ １ １２ １ １ ＊ ， ， ， ， 程光明 李新辉 张海滨 曾 平 温建明 　 （ ， 浙江师范大学精密机械研究所 浙江金华 １． ３２１００４ ， ） 兰州交通大学机电工程学院 甘肃兰州 ２． ７３００７０ ： ——— ， 摘要 以惯性压电驱动器的关键部件 悬臂式压电双晶片振子为研究对象 探讨了悬臂式压电双晶片振子的夹持长度 。 ， 。 ， 变化对其动态特性的影响规律 首先 建立了悬臂式压电双晶片振子静态参数方程和动力学模型 然后 应用 ｍａｔｌａｂ 。 ， 软件仿真分析了夹持长度变化对悬臂式压电双晶片振子的端部位移幅值和惯性加速度幅值的影响 最后 分别测试了 。 ： ， 悬臂式压电双晶片振子在不同夹持长度下的端部位移幅值以及惯性加速度幅值 结果显示 驱动电压为 １０Ｖ 频率为 ， ， ， １１ Ｈｚ悬臂式压电双晶片振子的夹持长度在 ９