纳米级超精细物理沉积镀膜工艺机理分析模板.doc

纳米级超精细薄膜物理沉积工艺机理研究 宋太伟，高伟波，余冬冬，方祥，杨光*Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.;Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.;Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.;Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.;Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.上海建冶环保科技股份有限公司;上海建冶环保科技股份有限公司;上海建冶环保科技股份有限公司;上海建冶环保科技股份有限公司;上海建冶环保科技股份有限公司201300;;;;;;021;;;上海市浦东新区园迪路158号;;;;caisheng99@;yudongdong0911@126.com;fangxiang2015@126.com;ygsunshine2006@163.com宋太伟（1965-），男，高级工程师，主要研究方向：太阳能电池材料和器件。;;;;宋太伟;高伟波;余冬冬;方祥;杨光SONG Taiwei;GAO Weibo;YU Dongdong;FANG Xiang;YANG Guang宋太伟 1*|*专著*|*宋太伟. 真空电子束热蒸镀系统与辅助电磁场磁控溅射沉积系统设计[M]. 上海：上海科学技术出版社，2013CR2*|*专著*|*宁兆元. 固体薄膜材料与制备技术[M]. 北京：科学出版社，2008.CR3*|*专著*|*黄昆. 固体物理学[M]. 北京：高等教育出版社，2001.CR4*|*专著*|*赵凯华. 热学[M]. 北京：高等教育出版社，2008.CR5*|*专著*|*赵凯华. 电磁学[M]. 北京：高等教育出版社，2008.*|1|宋太伟|SONG Taiwei|上海建冶环保科技股份有限公司|Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.|宋太伟（1965-），男，高级工程师，主要研究方向：太阳能电池材料和器件。|上海市浦东新区园迪路158号|201300|caisheng99@|021|2|高伟波|GAO Weibo|上海建冶环保科技股份有限公司|Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.|||||CR|3|余冬冬|YU Dongdong|上海建冶环保科技股份有限公司|Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.||||yudongdong0911@126.com||CR|4|方祥|FANG Xiang|上海建冶环保科技股份有限公司|Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.||||fangxiang2015@126.com||CR|5|杨光|YANG Guang|上海建冶环保科技股份有限公司|Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.||||ygsunshine2006@163.com||纳米级超精细薄膜物理沉积工艺机研究纳米级超精细薄膜物理沉积工艺机理研究|The theoretical study of film desition within nanometer thickness by PVD|（上海建冶环保科技股份有限公司） 摘要：本文以热蒸镀和磁控溅射工艺为基础，分析解决如何用简捷的物理镀膜方法，实现1-2纳米厚度超精细薄膜的均匀可控沉积。对热蒸镀的分析中，以控制源材蒸发量为基础，同时结合了对蒸发物质粒子的路径控制。对于磁控溅射工艺，分析了外加磁场、电场及压力、温度对腔内气体的粒子成分与运行轨迹的影响，用宏观统计逻辑建立起理想的磁控沉积方程组，并定性分析了被溅射物质的粒子大小与运行轨迹等与外部可变可控条件的关系，以指导设计可实现1-2纳米厚度薄膜磁控沉积设备。 关键词：电子束蒸镀; 磁控溅射; 沉积速率 中图分类号：0484 The theoretical study of film desition within nanometer thickness by PVD SONG Taiwei, GAO Weibo, YU Dongdong, FANG Xiang, YANG Guang (Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.) Abstract: In this paper the deposition of thin film with a thickness of 1-2 nm was realized by traditional physical vapor d