静电耗散材料电阻和电阻率的测量.pdfVIP

静电耗散材料电阻和电阻率的测量 表面电阻/表面电阻率, 体积电阻/体积电阻率, 点对点电阻, 接地电阻的测量 l 表面电阻, 体积电阻, 点对点电阻, 接地电阻单位: l 表面电阻率单位: / □ l 体积电阻率单位: Ω•cm l 静电耗散材料标准: 4 11 5 12 n 表面电阻: 10 -10 ; 表面电阻率: 10 -10 / □ 4 11 4 11 n 体积电阻: 10 -10 ; 体积电阻率: 10 -10 Ω•cm 4 11 n 点对点电阻：10 -10 n 工作台面接地电阻： 109 n 防静电地板接地电阻： 109 n 导静电地板接地电阻： 106 l 测试仪器：重锤式静电电阻测试仪（测试方法：直流法） 表面电阻和表面电阻率测试 采用TOM600ME 或TOM374 静电电阻仪，配RME 1 同心圆重锤电极（如图1） 测试支撑板：要求表面光滑，表面电阻应大于 1013