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基于DrumBufferRope理论的晶圆厂生产优化研究

基于Drum-Buffer-Rope 理论的晶圆厂 生产优化研究1 1,2 2 郭永辉 ,钱省三 1.郑州航空工业管理学院工业工程系,河南郑州(450015 ) 2.上海理工大学管理学院,上海(200093 ) 摘 要:DBR 理论中缓冲区长度简单的采用经验给出,不利于订单作业安排的制订。基于 little’s Law 与约束理论,改进了缓冲区长度的设置方法。考虑到晶圆生产的多目标性,给 出了瓶颈作业的双目标函数。为克服基于启发式法则进行瓶颈安排存在的不足,提出了基 于禁忌算法的瓶颈作业优化方法。算例结果也说明了研究的有效性。 关键词:Drum-Buffer-Rope 理论,缓冲设置,生产优化,禁忌算法 中图分类号:TP278 文献标识码:A Drum-Buffer-Rope(DBR)理论是Goldratt 博 1. 引言 士在约束理论思想上提出的进行生产作业 半导体晶圆生产既不同于传统的 安排方法[4],并在Job-shop 型与Flow-shop Flow-shop ,又不同于Job-shop 生产类型, 型企业得到很好应用,取得了不错的效果 是一种具有回流特性的生产类型[1] ,即同 [5,6] 。针对带回流生产线问题,Goldratt 提 一工件多次经过某个加工中心,这造成生 出“间隔棍” (Batch rod )概念,但没有一 产线瓶颈负荷极不平稳,瓶颈漂移现象频 套可遵循的方法[4] 。文献7 对传统的DBR 繁;晶圆制造厂多为代工型企业,通过接 理论进行修正,提出一套适合带回流生产 受客户订单来生产。半导体产品生命周期 线的生产作业方法。同时,针对多个订单在 很短,一般为两年甚至几个月。因此订单 瓶颈资源上形成的负荷堆积情况,提出了 为多品种、小批量型。在晶圆生产线上往 基于EDD (Earliest Due Date )法则的推平 往有几十种产品同时生产,再加上回流特 原则,得到各订单在瓶颈设备上的生产安 性,形成多个订单产品或同一订单产品的 排。算例结果说明了研究方法的有效性, 不同加工步骤争夺资源的情况,使瓶颈资 但图例中的结果也显示出推平后的瓶颈资 源的负荷不合理,出现产能不足,负荷大 源仍存在大量闲置时间,说明缓冲区的长 量堆积现象;除回流特性外,半导体制造 度设置不合理。另一方面,简单地根据启 过程复杂,涉及不同的物理、化学反应过 发式法则得到的瓶颈作业安排不一定是最 程,且加工步骤繁多,一般多达三、四百 优的。针对文献7 研究工作中存在的问题, 个加工步骤;半导体产品良率易受设备、 本文首先改进了 DBR 理论缓冲区长度的 材料、加工时间等因素影响,不确定性高。 计算方法,在此基础上,提出采用禁忌算 由于晶圆成本昂贵,当加工结果不合格时, 法优化瓶颈作业安排的方法,以期得到更 在工艺容许情况下,会进行重加工,以尽 优的瓶颈作业安排。 可能挽回

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