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5.2 霍尔传感器 5.2.1 霍尔传感器工作原理 5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路 5.2.3 霍尔元件的主要特性参数 5.2.4 霍尔元件误差及补偿 5.2.5 霍尔式传感器的应用 霍尔元件的工作原理 半导体薄片置于磁感应强度为B 的磁场中，磁场方向垂直于薄片，当有电流I 流过薄片时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势EH，这种现象称为霍尔效应。 磁感应强度B 较大时的情况 作用在半导体薄片上的磁场强度B越强，霍尔电势也就越高。霍尔电势EH可用下式表示： EH=RH IB/d=KH IB 霍尔效应演示 当磁场垂直于薄片时，电子受到洛仑兹力的作用，向内侧偏移，在半导体薄片c、d方向的端面之间建立起霍尔电势。 磁场不垂直于霍尔元件时的霍尔电势 若磁感应强度B不垂直于霍尔元件，而是与其法线成某一角度? 时，实际上作用于霍尔元件上的有效磁感应强度是其法线方向（与薄片垂直的方向）的分量，即Bcos?，这时的霍尔电势为 EH=KHIBcos? 5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路 霍尔元件常用非导磁金属、陶瓷或环氧树脂封装而成. 5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路 5.2.3 霍尔元件的主要特性参数 5.2.3 霍尔元件的主要特性参数 (4) 寄生直流电势（ 霍尔元件零位误差的一部分） 当没有外加磁场，霍尔元件用交流控制电流时，霍 尔电极的输出有一个直流电势控制电极和霍尔电极与 基片的连接是非完全欧姆接触时，会产生整流效应。 两个霍尔电极焊点的不一致，引起两电极温度不同产 生温差电势。 (5) 霍尔电势温度系数 在一定磁感应强度和控制电流下，温度每变化1度 时，霍尔电势变化的百分率。 5.3.4 霍尔元件误差及补偿 1. 不等位电势误差的补偿 2. 温度误差及其补偿 1. 不等位电势误差的补偿 理想状况下UH=0，但由于霍尔元件的某种结构（引出电极不再同一等位线上或制造霍尔片的材料不均匀）原因造成UH≠0，则电桥处于不平衡状态，即四个分布电阻的阻值不等； 可采用几种不等位电势补偿线路. 电势的补偿电路 对称电路 2. 温度误差及其补偿 温度误差产生原因： 霍尔元件的基片是半导体材料，因而对温度的变化很敏感。其载流子浓度和载流子迁移率、电阻率和霍尔系数都是温度的函数。 霍尔片与引出电极材料性质不同，各接点温度不同时，产生热电势。实际使用中，由于接触电阻不同、材料不均匀、散热条件不同等都可能造成霍尔元件温度场不均匀。 减小霍尔元件的温度误差 选用温度系数小的元件 采用恒温措施 采用恒流源供电 恒流源温度补偿 5.2.5 霍尔式传感器的应用 1.按功能分:霍尔线性器件和霍尔开关器件。 前者输出模拟量，其输出电压和加在霍尔元件上的磁感强度B成比例，精度高、线性度好，适用于各种磁场检测；后者输出数字量，无触点、无磨损、输出波形清晰、无抖动、无回跳、位置重复精度高（可达μm级）。 2.按应用分:直接应用和间接应用。 前者是直接检测出被检测对象本身的磁场或磁特性；后者是检测被测对象上人为设置的磁场，用这个磁场来作被检测的信息的载体，通过它，将许多非电、非磁的物理量例如力、力矩、压力、应力、位置、位移、速度、加速度、角度、角速度、转数、转速以及工作状态发生变化的时间等，转变成电量来进行检测和控制。 霍尔集成电路 线性型霍尔特性 右图示出了具有双端差动输出特性的线性霍尔器件的输出特性曲线。当磁场为零时，它的输出电压等于零；当感受的磁场为正向（磁钢的S极对准霍尔器件的正面）时， 输出为正；磁场反向时，输出为负。 开关型霍尔集成电路 开关型霍尔集成电路是将霍尔元件、稳压电路、放大器、施密特触发器、OC门（集电极开路输出门）等电路做在同一个芯片上。当外加磁场强度超过规定的工作点时，OC门由高阻态变为导通状态，输出变为低电平；当外加磁场强度低于释放点时，OC门重新变为高阻态，输出高电平。 开关型霍尔元件有单稳态和双稳态两种。较典型的单稳态开关型霍尔器件如UGN3019 、UGN3020等，双稳态有UGN3030 、 UGN3075 。双稳态特点是当外加磁场达到规定工作点时，器件导通，磁场消失后仍保持导通。只有施加反向磁场且达到规定工作点时才会到关闭状态。 霍尔接近开关主要用于各种自动控制装置，完成所需的位置控制，加工尺寸控制、自动计数、各种计数、各种流程的自动衔接、液位控制、转速检测等等。 5.2.5 霍尔式传感器的应用 优点: 结构简单，体积小，重量轻，频带宽，动态特 性