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低温等离子体在材料表面改性中的应用(论文资料)
第 卷第 期
31 1 东南大学学报（自然科学版 ） VOI .31 NO . 1
年 月
2001 1 （ ） Jan . 2001
JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSITY NaturaI Science EditiOn
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
低温等离子体在材料表面改性中的应用
肖 梅 凌一鸣
（东南大学电子工程系 南京， ）
210096
摘要：概要介绍了目前低温等离子体在材料表面改性方面的研究进展 材料的许多特性，如金
.
属的表面硬度、耐腐蚀、耐摩擦，聚合物的表面浸润性、亲水性、粘附性以及生物功能材料的生
物相容性等，决定了材料的应用. 低温等离子体并不改变材料的块材特性而仅影响材料的表面
特性 对金属如不锈钢等用氮气等离子源离子注入，可以在表面形成 ， 和 的铁
. Fe N Fe N Fe N
2 3 4
的氮化物，提高表面的硬度和耐腐蚀性能；氧气、氮气等离子体会在聚合物材料表面形成微针
孔结构，改善其浸润性、粘附性；用等离子聚合法在生物材料表面聚合高分子材料，如氯化对二
甲苯可以降低血小板的吸附. 因此，低温等离子体在材料的表面改性方面有很好的应用前景.
关键词：低温等离子体；表面改性；功能材料
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
O461 A 1001 - 0505 2001 01-0114-05
等离子体作为物质的第 态，是指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷总和完
4
全抵消. 而低温等离子体是指在直流电弧放电、辉光放电、微波放电、电晕放电、射频放电等条件下所产生
的部分电离气体，其中由于电子的质量远小于离子的质量，故电子温度可以在几万度到几十万度之间，远
高于离子温度（离子温度甚至可与室温相当）在低温等离子体中包含有多种粒子，除了电离所产生的电子
.
和离子（ 8 17 - 3 ）以外，还有大量的中性粒子如原子、分子和自由基等 故粒子间的相互作用非常复
10 ~ 10 cm .
杂，有电子 电子、电子 中性粒子、电子 离子、离子 离子、离子 中性分子、中性分子 中性分子等 在这样
.
一个复杂的物理体系中，由于电子、离子、激发原子、自由基的存在且相互作用，因此常可以完成在普通情
况下难以完成的事.20 世纪七八十年代起，等离子体表面改性开始蓬勃发展，目前已形成一个
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