LSAWs技术表征ULSI互连布线Low-k介质薄膜机械特性研究.pdf

摘要 互连线系统已经成为发展高速、高性能、高密度集成电路的瓶颈。将低介电 常数介质(10w．七)集成到ULSI互连系统中是当前解决此瓶颈问题的主要研究方 向。准确界定low-k介质薄膜的硬度特性是解决low-k介质互连面临的机械方面 SurfaceAcousticWaves， Generated 挑战的关键。激光产生超声表面波(Laser LSAWs)探测技术由于其快速、准确、无损伤等突出优点，特别适合在线检测 易脆、超薄、低硬度介质薄膜的杨氏模量。 本课题从声表面波传播的色散理论和LSAWs实验数据处理方法两个方面进 一步推进了LSAWs检测技术的研究。 在理论方面，针对ULSI互连系统的具体情况，本研究从传播媒质的波动方 程出发，建立了“各向同性薄膜／硅衬底的理论计算模型，并在大量计算结果 的基础上研究了薄膜的厚度、密度、杨氏模量等各种参数对理论计算的色散曲线 的影响。纳米多孔二氧化硅是最有潜力应用于low．k互连系统的介质。为解决原 有计算模型不能适应纳米孔呈周期性分布的薄膜的问题，本研究进一步建立了 “横观各向同性薄膜／硅衬底”的计算模型，并依据此计算模型丰富的计算结果 对纳米多孔二氧化硅薄膜的各项参数对于声表面波传播特性的影响作了深入的 分析和研究。 在实验数据处理方面，本研究根据奈奎斯特定理构建了合适的采样系统。本 研究用加窗函数的设计方法设计了一个具有线性相位特性的FIR软件滤波器来 减弱实验环境中噪声的污染，达到了实验数据分析处理的要求。在软件滤波器的 设计中，我们仔细研究了各种窗函数的特性，研究了凯瑟窗的参数对凯瑟窗性能 的影响，并最终选择了参数调节灵活的凯瑟窗作为设计中加载的窗函数。本研究 FFT算法来对实验信号作频谱分析。在仔 中采用了按时间抽选(DIT)的基-2 细研究了各种常用窗函数窗谱特性的基础上，本研究加载了合适的窗函数来降低 频谱泄露；并采用在信号的末尾增添零值的办法降低了频谱的栅栏效应。在获得 信号频谱的基础上，我们通过一定的公式，计算获得了实验信号的色散曲线。为 了将实验色散曲线和理论计算的色散曲线拟合，本研究采用最dx--乘法将离散的 数据点拟合成了光滑的色散曲线。找到与实验色散曲线最匹配的理论色散曲线是 提高测量结果精度的关键之一。本研究中采用一次微分的方法提高了紧密靠近曲 线簇的分辨率。并设计了基于二分法查找的自动寻优程序来实现在线的自动寻优 检测，快速、准确的给出了精度范围内的测试样品的杨氏模量值。 关键词：low-k，LSAWs，杨氏模量，滤波，频谱分析，最小二乘法，二分法 ABSTRACT Intereonnectionhas thebottle-neckfor become developing effortmadetosolvethis isto low-k circuit．The integrate high-densityintegrated major problem dielectricintointereonnectioneliminatethe causedmechanical system．To problem by witllcurrent in lowokdielectricinto incompatibility integrate-circuitprocessingintroducing istodeterminethehardnessoflow-kfilm themeritsof interconnecfion，the key accurately．For