KDP晶体单点金刚石车削表面形貌分形分析.pdfVIP

　第 19 卷 　第 9 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol . 19 ,No . 9 　 　2007 年 9 月 H I GH PO W ER L A SER AND PA R TICL E B EA M S Sep . ,2007 　 文章编号 : 　100 14322 (2007) KD P 晶体单点金刚石车削表面形貌分形分析 庞启龙 , 　陈明君 , 　王景贺, 　程 　凯 ( 哈尔滨工业大学 精密工程研究所, 黑龙江 哈尔滨 15000 1) 　　摘 　要 : 　分别使用 2 维和 3 维分形方法对单点金刚石车削加工的 KD P 晶体表面形貌进行了分析 ,并对 表面的 3 维分形维数和 3 维粗糙度表征参数进行了比较 ,分析了二者对表面形貌表征的差异 。使用 2 维轮廓 分形方法计算了 KD P 晶体表面圆周各方向上的分形维数 。通过分析得出:3 维分形维数与表面粗糙度值成反 比关系 ;使用单点金刚石车削方法加工 KD P 晶体会形成各向异性特征明显的已加工表面 ,在一定程度上容易 形成小尺度波纹 ; 已加工表面是否具有明显的小尺度波纹特征与表面粗糙度值并无直接关系 ,但与其表面轮廓 分形状态分布密切相关 ; KD P 晶体表面 2 维功率谱密度与其分形状态具有相近的方向性特征 。 　　关键词 : 　KDP 晶体 ; 　各向异性 ; 　单点金刚石车削; 　小尺度波纹 ; 　3 维分形 ; 　表面形貌 　　中图分类号 : 　T H 16 1. 14 　　　　文献标识码 : 　A 　　大尺寸高精度 KD P 晶体是用于激光惯性约束聚变的非线性光学晶体材料 ,对它的基本要求是 :大 口径 ( ) ( λ ) ( 2 ) ( ≥300 mm 、高精度面形质量 透射波前畸变 / 6 、高激光损伤阈值 ≥15 J / cm 、良好的表面粗糙度 RM S 值 ≤5 nm) [ 1 ] ,尤其是激光损伤阈值的性能指标非常重要 。在 目前惯性约束聚变的研究和发展过程中 , KD P 晶 体的激光损伤阈值严重限制了激光输出的能流密度和晶体的使用寿命 ,成为制约惯性约束聚变应用的重要因 素[2 ] 。目前 ,有关 KD P 晶体在没有外来杂质情况下的激光损伤机理 , 以往研究的重点主要集中在 KD P 晶体内 部稳态和瞬态缺陷对 KD P 晶体激光损伤阈值的影响[ 3 ] 。但新的研究发现 : KD P 晶体元件的表面特征也对其 光学性能有很大影响 。如在激光惯性约束聚变驱动器研制中 ,一般要求 KD P 晶体表面粗糙度的 PV 值为 5～ 20 nm ,RM S 值 1～4 nm 。如果该项技术指标未达到要求 ,不仅将造成高功率激光散射 ,影响光束质量 ;而且 , 在不符合要求的粗糙度表面上镀膜将使膜层抗激光破坏能力大大减弱 ,从而降低了膜层和材料的破坏阈值 。 而对于表面粗糙度 RM S 值达到 0 . 1 nm 的超光滑表面 ,激光损伤阈值会得到较大提高 ,将达到 17 J / cm2 [4 ] 。 因此在考虑晶体材料的内部因素对光学性能影响的同时 ,还必须考虑其表面因素的影响 。 　　传统的表面粗糙度评价方法对加工表面的表征与测量的尺度和仪器密切相关 ,往往不同的仪器在测量同 一表面时会给出不同的粗糙度值 ,也就是说其并不能充分地反映加工表面的多尺度特性 。而分形评价方法与 传统的表面粗糙度评价方法不同 ,它与尺度无关 ,这就使分形方法比以往的表面表征方法更能反映表面的本质 信息 ,因此分形方法适于表征对表面频率信息要求严格的 KD P 元件表面 。目前为止 ,分形方法一般只用来对 2 维表面轮廓