微细加工的分类和主要指标.docVIP

微细加工与一般的加工的不同 1 加工精度的表示方法不同 2 加工机理存在很大的差异 3加工特征明显不同 微细加工的分类 微制造技术一直存在三大主流方向，其一是美国为代表的基于硅平面技术发展起来的硅加工技术；其二是一德国为代表的LIGA技术；另一个则是以日本为代表的由传统切削加工技术和特种加工方法演化而来的微细加工技术。 微细电火花技工技术与普通的电火花技工技术并无本质的区别。其加工的表面质量取决于电蚀凹坑的大小和深度，即单个脉冲的能量；其加工精度则与电极损耗、伺服稳定性等因素有关。当脉冲电压施压到工具电极和工件电极之间时，极间介质击穿并形成一个极小的放电通道。放电通道中的电子和离子受到放电时的电磁力和周围介质的压缩，因此截面积很小，通道中的电流密度极大，可达 。放电通道是由数量大致相等的正离子和电子以及中性原子组成的等离子体。在极间电场的作用下，通道中的正离子和负离子分别向阴极和阳极运动并发生剧烈的碰撞，从而产生大量的热量；同时，阳极和阴极表面分别受到电子流和离子流的撞击，动能也转化为热能，在电极表面产生大量的热，整个放电通道形成一个瞬时的热源，其间温度可达10000℃以上。另外，由于电火花放时的电流会产生磁场，该磁场又反过来对电子流产生向心的磁压缩效应和周围介质惯性动力压缩效应的作用，通道瞬间扩展受到很到的阻力。故而放电开始阶段通道截面积很小，而通道内由于高温膨胀形成的初始压力可达数十甚至上百个千帕，高温高压的放电通道以及随后瞬时气化形成的气体急速扩展、产生一个强烈的冲击波向四周传播。因此，火花放电蚀除材料的过程是热效应、电磁效应、光效应、声效应及频率很宽的电磁幅射和爆炸冲击的综合过程，而这一过程一般只有。 微细电火花加工性能的主要指标 1 加工表面质量 微细电火花加工的工件尺寸在数十微米到数百微米之间，在这尺度上要达到很高的表面质量和尺寸精度，就要求微细电火花加工过程中的放电凹坑及其形成的表面粗糙度低。如图所示，放电凹坑的断面几何形状，奥坑定两个关键因素是放电凹坑直径D和放电凹坑H的深度，基于热源模型假设，并通过大量得实验，可得出放电凹坑的直径经验公式 ——放电凹坑直径 ——脉冲电流幅值 ——放电持续时间 . 图 电火花放电凹坑端面几何形状 放电凹坑的另一个 重要的几何参数是凹坑的深度H。大量的实验表明，凹坑深度H与凹坑的平均直径D有很大的关系。一般H/D约为0.1~0.2 2 脉冲电源 微细电火花技工对电源的要求时单脉冲放电能量小而且能控制。 电火花加工中单个脉冲电源的能量可用下式表示 ——放电电流 ——极间电压 ——放电时间 根据上述放电凹坑与表面粗糙度的关系，要求达到微米级的加工精度及表面粗糙度，单个脉冲的放电能量应控制在数量级之间。由于放电过程极均按电压视为常数。因此可调整的参数只有脉冲宽度。为了满足微细电火花的加工要求，放电电流一般不小于数百毫安，而应减小到1左右。 3 微细工具电极的制造、安装及检测 线电极电火花磨削技术的出现解决了电极二次安装带来的安装误差及变形误差这一瓶颈问题。为实现微细零部件的精密微细电火花加工，就必须探索高效、快捷实用的微细电极在线制作与在线或在位检测方法，并形成一套专门高的系统。 4放电面积效应的影响 面积效应。。。由于放电点过于集中于电极的尖角棱边处，将加剧电极的损耗，从而影响加工精度。为使微细电火花加工过程能够正常稳定的进行，有必要对微细电火花加工的蚀除机理、排屑方式、电极损耗及其补偿策略、加工过程的有效控制方式等进行深入的研究与探索。 5伺服控制系统 为提高微细电火花的加工效率，最有效的方法就是提高脉冲电源你的利用效率。为了较好的跟踪微细电火花的放电间隙，除要求伺服系统有足够高的伺服进给精度和进给分辨率以外，还要求伺服机构具有足够高的频率响应。这是由于在微细电火花加工中由于放电蚀除物难以排除而导致蚀除物在放电间隙中堆积，从而导致短路现象十分频繁，这种现象被称为间接短路。为了减少这种现象所产生的危害，就要求间接短路时，伺服机构能够迅速作出后退反应。良好的间隙控制系统是保证电火花加工能够持续稳定进行的必备条件。 目前国内对微细电火花的就主要是两大趋势：一是加工装置本身的微小型化；二是针对微小型零件的加工进行新型机床的开发。 分层制造的基本条件 1 X-Y扫描机精确的运动控制 2 Z方向的精确运动控制 3 每一层的轮廓扫描和面内填充扫描 4 各种物理量的控制 5 扫描速度和轨迹与某种功率匹配（如激光功率、材料输送功率）