双层减反射膜的理论模拟及在太阳电池上的应用.pdfVIP

Master Dissertation Submitted to Shanghai Jiao Tong University SIMULATION OF DUAL ANTIREFLECTIION COATING AND ITS APPLICATION TO THE SOLAR CELLS Author: YuYuebo Advisor: Associate Prof. Meng Fanying Specialty: Optical Engineering Department of Physics Shanghai Jiao Tong University January, 2009 摘 要 双层减反射膜的理论模拟及其 在太阳电池上的应用 摘 要 太阳电池是将光能直接转换为电能的半导体器件，研究它的光电性 质对于提高太阳电池的光电转换效率、降低成本具有很重要的意义。本 文主要对太阳电池的表面钝化处理和减反射膜的设计进行深入地研究， 分析了不同因素对电池表面钝化效果的影响，并模拟计算出不同减反膜 系的加权积分反射率，最后根据模拟计算结果在太阳电池生产线上制备 出二氧化钛/二氧化硅（TiO /SiO ）双层膜太阳电池。研究结果对于提高 2 2 太阳电池效率降低成本都有重要的理论和应用价值。 热氧化生长的 SiO2 对硅片有良好的钝化作用。本文采用在硅片表面 热氧化生成一层 SiO2 的方式对太阳电池进行表面钝化，通过调节氧化工 艺参数，分析不同氧化条件对硅片的有效少子寿命、结深的影响，确定 了最佳的氧化温度为 850℃、SiO2 膜厚为 10nm。研究发现在最佳的氧化 条件下， P-N 结的结深以及表面多数载流子浓度在氧化前后的变化不大。 为了降低太阳电池的表面反射率，结合氧化工艺设计出 TiO2/SiO2 双 层减反膜。首先确定双层膜中的第一层膜为TiO ,第二层膜为SiO 钝化膜， 2 2 厚度为 10nm,折射率为 1.46。然后通过光学软件 Macleod 模拟计算出当第 一层膜的厚度变化（40～80nm）时硅片表面的反射率，再根据减反膜的 评价函数编写 Matlab 程序，计算出加权积分反射率及对应的短路电流密 第 I 页 摘 要 度。计算结果显示当 TiO2 的膜厚为 55nm 时，双层膜在封装之后的加权 积分反射率达到最低值。 根据减反膜的优化设计结果，在晶体硅太阳电池生产线上制备出 TiO /SiO 双层膜太阳电池。通过实验对比双层膜和氮化硅（SiN ）减反 2 2 x 膜太阳电池的光电性能发现，这种双层减反膜也可以取得很好的减反效 果和钝化效果。双层膜和单层膜太阳电池的平均转换效率分别为 16.02％ 和 16.2％，开路电压均达到 0.62V，而且研究表明与 SiNx 单层膜太阳电 池相比，双层膜太阳电池的光谱响应在短波部分内量子效率有明显的增 益。因此，这种低成本的 TiO2/SiO2 双层膜有望应用到将来的太阳电池生 产中。 关键词：TiO ; SiO ；双层减反膜; 钝化; 太阳电池 2 2 第 II 页