30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜.pdf

第29卷第9期 光 学 学 报 V01．29，No．9 2009年9月 SINICA September，2009 ACTA0PTICA 文章编号：0253—2239(2009)09—2615—04 30．4 nm波长处Mg基多层膜反射镜 白 亮 朱京涛’ 徐 敬 黄秋实 吴文娟 王晓强 王占山 陈玲燕 (同济大学精密光学工程技术研究所物理系，上海200092) 摘要太阳光谱中重要的He_Ⅱ谱线(波长30．4nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义，实 现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30．4nnl的Mg基多层膜。以反射率最高 为评价函数设计了多层膜，采用直流磁拧溅射技术制备了SiC／Mg，B4C／Mg和C／Mg多层膜，用x射线衍射仪测 量了多层膜的结构。研究表明虽然BeC／Mg多层膜理论反射率最高，但实际制备结果显示，SiC／Mg多层膜的成膜 质量最好，反射率最高。同步辐射反射率测量表明：在入射角10。时实测的SiC／Mg多层膜反射率为44．6％。 关键词 薄膜光学；多层膜；磁控溅射；极紫外；He-II谱线；反射率 中图分类号0434；TB43文献标识码A doi：10．3788／AO2615 FilmReflectiveMirrorat30．4nm Multilayer Bai Zhu Xu Wu Liang JingtaoJingHuangQiushiWenjuan ZhanshanChen WangXiaoqiangWang Lingyan (InstitutePrecision of OpticalEngineering，PhysicsDepartment。TongjiUniversity， 200092，China) Shanghai AbstractObservationoftheHe．II atthe of30．4nm，a insolar of key spectrum，iS spectrumwavelength spectrum in solar and filmreflectivemirrorsare environment．Multilayer usually greatsignificanceinvestigatingactivityspace 30．4 of insolarobservationatextremeultraviolet(EUV)waveatthe of nm adapted range．Reflectionwavelength the films of i8studied．The filmis evaluationfunctionexpressing multilayercomposedMg multilayerdesignedusing