ITOAl2O3复合透明导电膜的制备及光电性能.pdf

第 卷 第 期 真 空 科 学 与 技 术 ’( ( 年 、月 （ ） ’**( K Z ^%7__T X7!‘M7‘ %Ma ‘7:M#8#[b 7:!M% )+( !#$ % # 复合透明导电膜的制备及光电性能! ’ ( ! 季振国 王 超 刘 坤 （浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州 ()**’+ ） !#$% ’() *’’+%,-.’%-#( #/ 0123 45 2 *#67#8-%, ’ ( 1’(87’,(% *#()9+%-(: 1-( ;-56 ! ， ， ,- ./01234 5612 7/64 8-3 931 （ ， ， ， ， ） !#$ %$ ’#()*#)* + )* !,-,.)/ 0#$*,#-1 23$4 ,#/5 6/,7$*1, 8#/593): ()**’+ ;3,/# 48%’+% :-2/ ;36-= !# 4?@4A-0 /-1 B-?A C0D0 2D4C1 41 /0 26AA A3EAD60A @D0F460G C-/ % /-1 B-?A 4B H6D=-12 /-I10AA E= ?6210D41 A@30D-12 J%B0D 611060G 6 K(* L ， ， D61A@6D01 41G3-12 !#$ % # B4D?A C-/ % # 6A M6 G-BB3A-41 E6DD-0D J/0 AD33D0A 4@-6 ’ ( ’ ( 61G 00D-6 @D4@0D-0A 4B /0 B-?A C0D0 A3G-0G C-/ 41H01-416 0/1-;30A J/0 D0A3A A/4C /6 /0 /-I10AA 4B @D0FG0@4A-0G % B-? A-21-B-F ， ， ， 61= 6BB0A /0 @D4@0D-0A 4B /0 B-?A J N4D -1A610 C-/ 61 % @D0FG0@4A-0G B-? 4B O* 1? -1 /-I10AA 410 61 2D4C /-2/= D=A6-P0G 7F6Q-A 4D-010G !#$ % ， ，