NiTi形状记忆合金薄膜的相结构.pdf

第38卷 增刊 金属学玫 V61．38Suppl． 2002年9月224—225页 ACTAMETALLURGICASINICA Sept．2002PP．224-225 NiTi形状记忆合金薄膜的相结构木 柳美荣 郭锦芳 王小平 (有研亿金新材料股份有限公司，北京100088)qE京有色金属研究总院超导中心，北京100088) 摘 要 采用直流磁控溅射法制备了NiTi形状记忆合金薄膜，采用一步法对NiTi薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆 效应，研究了成分和晶化热处理对NiTi薄膜相结构的影响．结果表明，等原子比膜和富钛膜经相同晶化热处理后，相结构明显不 同，前者相结构主要为B2相，后者则为B2+A彳相；且等原子比膜经过不同温度的晶化热处理后，随着温度的升高，M相和 第二相也相应增多． 关键词 形状记忆合金，磁控溅射法， NiTi薄膜，晶化热处理 A 中图法分类号TGl46．23，TGl39。6文献标识码文章编号 PHASESTRUCTURESoFNiTiSHAPEMEMoRY ALLoYTHINFILMS LIU Meirong．GUOJin／ang Materials 100088 GrikinAdvanced CO．Ltd—Beijing WANG Xiaoping GeneralResearchInstituteforNonferrous 100088 Metals．Beijing Correspondent：LIUMeirong，engineerl E-mail：liumr76@)sina．corn．cn received2002-03-25 Manuscript ABSTRACTNiTi films DC weretreated shapememoryalloy preparedby magnetronsputtering with methodto effect．Theinfluenceof andcrvstallization one—step getshapememory composition treatmenton structureoffilmswasstudied．Itwasfoundthatafterthesameheattreatment． phase structureofNiTifilmswith orTi isB2andtheTirichfilmis fNi 50％1 phase equiatomiccomposition B2andM of structureofNiTifilmswith showed phases．Theanalysisphase equiatomiccomposition thatwiththetreatment andthesecond alSOincreased． temperatureincreasing．Mphase phase KEYWoRDS treatment shapememoryalloy，magnetronsputtering，NiTifilm，crystallization 形状记忆合金(sMA)是智能结构研究中