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TiO2VO2双层薄膜的制备及光电性能研究.pdf
第35卷第12期 合肥工业大学学报(自然科学版) V01．35No．12
JOURNALOFHEFEIUNIvERSITYOF
TECHNOL()GY
2012年12月 Dec．2012
Doi：10．3969／j．issn．1003—5060．2012．12．000
Ti02／v02双层薄膜的制备及光电性能研究
吕晓庆 李合琴， 周 矗， 崔跃， 何蓓， 刘 涛
(合肥工业大学材料科学与工程学院，安徽合肥230009)
摘要：文章采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备VO。单层薄膜与TiO：／VO：双层薄膜，并在Ar气中进
行退火。用X射线衍射仪、扫描电镜、紫外一可见光分光光度计、LCR测试仪对薄膜样品的晶体结构、表面形
貌、可见光透过率、电阻温度特性进行测试。结果表明，Ti02／VO：双层薄膜的相变温度降低到56℃，电阻
温度系数为一1．087／C，可见光透过率提高了20％430％，且薄膜生长致密均匀。
关键词：Ti()2／voz双层薄膜；相变温度；电阻温度曲线；可见光透过率
1659—03
中图分类号：TB43 文献标识码：A 文章编号：1003—5060(2012)12
ofTi02／V02 thinfilmandits
Preparation bilayer photoelectricproperties
m Chu，CUIYue，HEBei，LIUTao
Xiao—qing，IJ
He—qin，ZHOU
(SchoolofMaterials
Scienceand of 230009．China)
Engineering．He{elUniversityTechnology．He{ei
Abstract．．The thinfilmand thinfilmwere
V02
monolayer Ti02／v02bilayer preparedbymagnetron
on thenannealedinAr
substrates，and
sputteringglass atmosphere．Theircrystal
transmittancesand characteristicsweremeasured
morphologies，visiblelight resistance—temperature
byX—ray electron visible andLCRtester．
diffraction，scanningmicroscope，UVspectrophotometer
Theresultsshowthat with thin transition of
V02 film，the
compared monolayer phase temperature
thinfilmdecreasest
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