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光波导的理论以及制备方法介绍 摘要 由光透明介质(如石英玻璃)构成的传输光频电磁波的导行结构。光波导的传输原 理是在不同折射率的介质分界面上，电磁波的全反射现象使光波局限在波导及其周围 有限区域内传播。 光波导的研究条件与当前科技的飞速发展是密不可分的，随着技术的发展，新的制备方 法不断产生，从而形成了各种各样的制备方法，如离子注入法、外延生长法、化学气相沉淀 法、溅射法、溶胶凝胶法等。重点介绍离子注入法。 光波导简介 如图所示为光波导结构 图表 1 光波导结构 如图中共有三层平面相层叠的光学介质，其对应折射率n0,n1,n2。其中白色曲折线表示光的 传播路径形式。可以看出，这是依靠全反射原理使光线限制在一层薄薄的介质中传播，这就 是光波导的基本原理。为了形成全反射，图中要求n1n0,n2。 一般来讲，被限制的方向微米量级的尺度。 图表 2 光波导模型 如图2 所示，选择适当的角度θ （为了有更好的选择空间，一般可以通过调整三层介质的折 射率来取得合适的取值），则可以将光线限制在波导区域传播。 光波导具有的特点 光波导可以用于限制光线传播光路，由于本身其尺寸在微米量级，就使 得其有很多较好的特点： （1） 光密度大大增强 光波导的尺寸量级是微米量级，这样就使得光斑从平方毫米尺度到平方微米尺度光密度增大 4 6 10 —10 倍。 （2 ） 光的衍射被限制 从前面可以看出，图示的光波导已经将光波限制在平面区域内，后面会提到稍微变动一下技 术就可以做成条形光波导了，这样就把光波限制在一维条形区域传播，这就限制了光波的衍 射，有一维限制（一个方向），二维限制（两个方向）区分（注：此处“一维”与“二维” 的说法并不是专业术语，仅仅指光的传播方向的空间自由度，不与此研究专业领域的说法相 混同）。 （3 ） 微型元件集成化 微米量级的尺寸集成度高，相应的成本降低 （4 ） 某些特性最优化 非线性倍频阈值降低，波导激光阈值降低 综上所述，光波导本身的尺寸优势使得其有很好的研究前景以及广泛的应用范围。 光波导的分类 一般来讲，光波导可以分为以下几个大类别： 图表 3 平面波导（planar ） 图表 4 光纤（fiber ） 图表 5 条形波导（channel ） 图表 6 脊型波导 （ridge ） 上面介绍了几大类光波导形式，实际上这只是基本的几种形式，每一种都可以加以变化以适 应不同环境及应用的需求。比如将条形光波导做成分叉形状可以制成“Y ”型波导用于分开 传播信号，甚至可以与电学性质结合做成光开关元件等等。 光波导的应用前景 光波导本身由于是多方面科学的集成，所以其研究以及应用范围也是很 广泛的小型紧凑的波导结构，有利于实现光路的集成。光波在波导中的传输、耦合以及与外 场相互作用引起的各种物理现象，是集成光路设计和制造的基础。如今已经是叫做集成光子 学。应用范围： 波导激光器：谐振腔内激光传播和振荡的模式由波导理论来确定的激光器。固体、 液体、气体、半导体等工作物质都可以做成波导激光器，其中较为成熟的是CO2波导 激光器。CO2激光器的波导管是内径很细(约1mm) 、内表面很光滑的空心导管，可以 是圆形或方形，通常用氧化铍(BeO)陶瓷做成。波导管只允许低阶模通过，对高阶模 的损耗很大，故输出激光的光束质量很好。 光波导放大器：是一种应用于城域网和局域网通信的光放大器,它尺寸小、易于集成、 能在特定节点提供适中的增益。 光无源器件：光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分，也是其它光纤应用领 域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性、稳定性、机械耐磨 性和抗腐蚀性、易于操作等特点，广泛应用于长距离通信、区域网络及光纤到户、视 频传输、光纤感测等等。 光子集成器件： 能将光波束缚在光波长量级尺寸的介质中，长距离无辐射的传输。平面波导型光器件，又称 为光子集成器件，其技术核心是采用集成光学工艺根据功能要求制成各种平面光波导，有的 还要在一定的位置上沉积电极，然后光波导再与光纤或光纤阵列耦合，是多类光器件的研究 热点。 光孤子：光孤子通信具有以下