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氮化硅微粉制备技术
第26 卷第3 期 Vol.26,No.3
2 0 0 6 年6 月 Journal of Liaoning Institute of Technology Jun. 2006
氮化硅微粉制备技术
1 2 1 1
.辽宁工学院 材料与化学工程学院 辽宁 锦州 ; . 辽宁石化职业技术学院 应用化学系,辽宁 锦州
1 121001 2 121001
摘 要 就国内外氮化硅粉末合成的研究情况 按照气相合成法 液相合成法和固相合成法的分
类 综述了硅粉直接氮化法 碳热还原二氧化硅法 自蔓延法 热分解法 溶胶凝胶(sol-gel)法
高温气相反应法 激光气相反应法和等离子体气相反应法等几种主要的氮化硅粉末制备方法 介绍
了各种制备方法的最新研究进展 并从产品质量 成本和生产规模等角度分析比较了各种制备方法
的特点 指出了制备氮化硅粉末的主要发展方向
关键词 氮化硅 微粉 制备 技术
中图分类号 TQ072 文献标识码 A 文章编号 1005-1090(2006)03-0191-05
Fabrication Technique of Si N Fine Powder
3 4
1,2 1 1
CHEN Hong , MU Bai-chun , ZHENG Li-ming
1.Material Chemical Engineering College, Liaoning Institute of Technology, Jinzhou 121001,China;
2.Dept.of Applying Chemistry, Liaoning Petro - Vocational Technology College, Jinzhou 121001,China
Key words: silicon nitride; fine powder; fabrication;technique
Abstract: In terms of the research situations for Si3N4 powder syntheses methods, the
direct nitridation, carbothemal reduction,self-propagation high-temperature synthesis(SHS),
ammonolysis of Si3Cl4 sol-gel chemical vapor deposition (CVD) laser induced chemical
vapor deposition (LICVD) and plasma chemical vapor deposition( PCVD ) were
comprehensively reviewed. The latest development was stated in all different preparing
methods of Si N fine powder,with charac
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