凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证.pdfVIP

第 16 卷 　第 2 期 　 光学 精密工程 Vol . 16 　No . 2 2008 年 2 月 　 　 　　　　　　　　　Op tics and Preci sion Engineering 　　　　　　　　　　 Feb . 2008 ( ) 文章编号 　1004924X 2008 凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证 1 1 ,2 1 ,2 巴音贺希格 ,张浩泰 ,李文昊 (1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 ,吉林 长春 130033 ;2. 中国科学院 研究生院,北京 100049) 摘要 :建立了凹球面基底离心式涂胶的数学模型 。基于流体力学理论对旋转凹球面上的光刻胶做了受力分析 ,根据凹球 面的面形给出了流体方程的边界条件 ,并引入和建立了光刻胶蒸发速率对涂胶基底面形的响应关系式 ,最终得到了一个 描述光刻胶厚度随转速 、基底面形及光刻胶参数变化的多项式方程 ,从此方程又简化得到平面上离心式涂胶的数学模 型 。涂胶实验结果表明 ,在凹球面上和平面上的光刻胶厚度理论计算值与测量值吻合 ,精度达到了纳米级 。所建立的模 型有较好的预见性和实用性 。 关 　键 　词 :数学模型 ;离心式涂胶 ;凹球面 ;光刻胶 中图分类号 : TN 305 . 7 　　文献标识码 :A Mathematic model and experiment verif ication of spincoating on concave spherical substrate Bayanhe shig1 , ZHAN G Haot ai1 ,2 ,L I Wenhao1 ,2 ( 1. Ch ang ch u n I ns t i t ute of Op t ics , F i ne M ech anics an d P hy s ics , Ch i nese A ca demy of S ciences , ) Changchun 130033 , China;2. Graduate S chool of the Chinese A cademy of S ciences , B eij ing 100049 , China Abstract : In or der to guide t he spincoating t echnolo gy o n concave sp herical sub st rat e , a mat hematic mo del wa s e st abli shed . On t he ba si s of t he hydro dynamic s , t he acting force of sp incoat ed p hotore si st on concave sp herical sub st rat e wa s analyzed . Then , t he boun dary co ndition of t he hydro dynamic equa tion wa s p re sent accor ding to sub st rat e topo grap hy . Furt her more , t he evaporation rat e wa s con sidered w hen sp incoating on diff erent sub st rat e s. A p