非晶材料及其应用.pdfVIP

ReView 纛 y 非晶耐料及县应用 鍪鬟囊蓊黼黛缀。糕麟瓣溺瓣麓懑瀚麟黎鬻麟蘸骥鍪鍪缀豢瓣 摘要：对敏感功能材料研究开发所呈现的主要趋势之一就是从单晶材料向多晶材料和非晶材料方向过渡 发展。由于非晶材料具有光吸收系数高、基片材料的限制性小、性能易于扩展、制作工艺简单等优点， 因而受到多方面青睐。本文侧重介绍非晶材料的现状、制造方法、基本特性及其在传感器中的应用与展 望。 关键词：单晶材料；多晶材料；非晶材料；非晶硅；非晶磁性材料；非晶传感器 1一∞06一007 中图分类号：0756文献标识码：A文章编号：1∞6—883x(2∞5)1 势◆ 王亚峰何世英吴能 一、引言 最近，对敏感功能材料的研制开发所呈现的主要趋势之一就是从单晶材料向多晶材料和非晶材料的方向 过渡发展。 到目前为止，传感器中应用的敏感功能材料多为单晶材料，特别是物理类传感器更是如此。例如，光敏 传感器一直就是用si、GaAs之类的单晶半导体。 另一方面，气敏传感器主要由多晶材料或多孔陶瓷构成。陶瓷由粉末混合物经模压、烧结而形成。采用 理想特性的原材料并对烧结工艺严加管制，便可制成一种精细陶瓷，使之应用于传感器，从而开辟了陶瓷拓 宽应用的新天地。 单晶传感器仅利用了晶体的体性能，而多晶传感器和陶瓷传感器则利用了多孔性和晶粒边界特性，从而 开辟了拓宽应用于气敏传感器和热敏传感器的新途径。 非晶材料大致分为非晶磁性材料和非晶半导体材料。引人注目的非晶合金现已步入实用阶段，特别是近 年来又在基础和应用方面作了深入研究，从而了解非晶金属在结晶状态所具有的独特物性，使之拓宽应用于 传感器，颇具实用价值。 本文侧重介绍非晶材料的现状、制造方法、基本特性及其在传感器中的应用与展望。 二、非晶材料 l、非晶磁性材料 非晶磁性材料是杜韦斯(Duwes)1960年用液体淬火法率先合成的，如今这种敏感功能材料已在传感器中 得到日益广泛的应用，而且展望未来还可用于更大的发展。非晶磁性材料具有下列特性： ①缺乏晶体材料所具有的磁各向异性，导磁率高，损耗小。也就是说，旋转磁化容易，各向磁场灵敏 度高，因此，可用来构成高灵敏度磁场计或磁通量传感器。现已相继开发出应力一磁效应式高灵敏度应力传 感器、磁致伸缩效应式机械传感器。 ②具有高电阻率(比坡莫合金高几倍)，因此，即使是在高频范围内也能得到较小的涡流损耗和极好的磁 特性，有效利用此特性便可开发研制出磁性晶体难以实现的快速响应传感器。 ◆㈣。勰1万方数据 鬻◇黪魏麴◇l◇翁箩鼗◇鬻i黪瓣 ③不存在晶粒边界、位错等晶体材料 ④可淀积均匀性良好的大面积薄膜； 固有的缺陷，因而机械强度高，抗化学性强。 ⑤淀积膜的长期稳定性和可靠性良好： ④直到居里温度(近似为200～500K)，⑥可在曲面和平面上淀积薄膜； 其组合成分均可随意确定。因此，可望用于 ⑦可应用光刻工艺； 开发研制快速响应温度传感器。 ⑧可用非晶材料制作有源和无源元件，可在多种基片材料上生长，可 2、非晶硅 用来制作三维电路。 非晶硅自1976年由斯皮尔(Spear)通过 控制手段对其掺杂以来，在光生伏打方面的 三、制造方法 ； 应用是人所共知的。例如，内置非晶