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LGS压电晶体及其声表面波特性的理论分析.pdf

第 卷第 期 压! 电! 与! 声! 光 X9MT 29T # #( 年( 月 Q;CYUC,CJ1;J. Z /JU+.1UUQ1;J. /6T ##( ! ! 文章编号:%##($(’( (##( )#$#%*+$#( !# 压电晶体及其声表面波特性的理论分析 吉小军,韩! 韬,施文康,张国伟 (上海交通大学 仪器工程系,上海###*# ) ! ! 摘! 要:简要介绍了硅酸钾镧(,-. )压电晶体及其性能,从理论上分析了其! 切、 切和# 切的声表面波 (./0 )特性,证实了,-. 具有机电耦合系数高且存在能流角和温度延时系数为零的切向等优点。同时也验证了 分析理论的正确性,为进一步研究其高温特性和优化切向奠定了可靠的理论基础。 关键词:相速度;机电耦合系数;能流角;延时温度系数 中图分类号: 12+ ;12*3+! ! ! ! 文献标识码:/ !# $%’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点(% (’# VJ )之间没有相变发生,在3+# VJ 中放置 %! 引言 几周也没有发生分解现象,最近德国已对基于,-. 在声表面波(./0 )应用中,对压电基片的基本 的叉指换能器(;41 )在 % ## V J 中进行了实验研 要求包括较大的机电耦合系数($ ),零或较小的延 [ ] 究,取得了很好的研究结果 。,-. 的这个特性开 时温度系数(%’ )和能流角(()* ),较低的传播损 创了./0 器件高温应用的可能性,特别是在高温传 耗,同时这种基片材料还要易于生产,便于加工,价 感器

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