LiNbO3电光调制器行波电极微波等效折射率的测量.pdfVIP

第25卷第2期 电子与信息学报 、，012jNo2 2(1IJ3年2月10URN^1J011li【l’(：rRoNH：SANDINl。()l{MA‘l【oNTECIINoLOGYFblJ．2003 LiNbo。电光调制器行波电极微波等效折射率的测量1 廖焕霖 王凌霄 吴伯瑜 高悦广 罗淑云 彭吉虎 沈 嘉 宋 琼 清乍大学电千工程乐北京100084) 摘要 LINb03电把胡静l器的设计L}l、行被电}砭的傲波等牧折射率是～个卫罐的参数，法文城过自行设 计的微被探针架硬探针，采用差恤的方法，在微波同络分析仪上对样品CPW电极的微波等效折射率进行 丁测ilf．分析r宴删值与理沦计赞值的偏差，给出r修正凼手，研究丁微波等效折射率随额率变化的色散现 象，并对这种测时打『占进行r洪差分析，提出了减小溟芷的方法。 关键词 微披等效折射率， l lNl)03电光岍制器，行浊CPw电椴 中图号 TN256 1引言 Ti LjNb0。电光调制器由于其宽带、低驱动、低插入损耗、频率删嗽小等优点，在高速比 距离光通信系统中是必不可少的关键器件．T-jNh03电光州制器的凋制带宽特性主要取决十其 电檄系统。而电极系统的两个参数：微浊等效折射率、微波拟耗系数正是限制I—iNh03电光渊 制器带宽的主罂因素．为实现宽带低驱动，提川了各种电擞结构，大多是在共面波导型(CPW) 行波电极(弛【芏I1)基础上采取不同的横截面形状U达到丰丌速匹配和降低微波损耗． 墓；警＼ f 钝麟w}『麻 ∑： j{ B饭 图l CPW型行披电板结构示意图 电板系统的微波等效折射率的理论计算方法仃全波分析法、有限元法、格林函数法等，但在 实际制作中，往往会因为工艺精度的限制及上艺流程的不易控制而产生偏差．【捌此通过测量实 际电极的微波等效折射率，对理论汁算值予以修正，将对调制器的设计起到重要的指导意义． 另外，实际的电光调制器电板的微波等效折射率存在着色散，通过测量可以分析研究它随频率 变化的规律．下文介绍了测量电极微波等效折射率的一种方法，并对测量结果进行了分析． 2测量原理与方法 测量电极的微波等效折射率的方法白-相位法、时域反射法、反向光传输法等．从测量原理 尽可能简单直接且准确出发并结合本实验室条件，我们选择了相位法．其测量原理是，微波在 行波电极上传输时，在长L的电极上的祈移量为币=M。×2H，×L／c．其中，为微波频率， L为行波电微且作用医K度，Ⅳ。为微波等效折射率，c为真空中光速。如能用微波网络分析 仪测量Ⅲ电微的传输损耗S2，的相位刘可，导到币伉。根据上式也就得出了啊，。的大小．测量原 理如幽2所示。 2001·07—29收到，2002—02一18改回 同家863计划干口国家自然科学基金(No资助 万方数据 2期 廖焕霖等： LlNb03电光调制器行波电板微被尊敏折射率的测量 285 8 为了消除SMA微波同轴接头、微波探针及电微上与探针连接的过渡段翻1分的附加相移皿， 可以利用差值的方法．假设电傲1，2的互作川区长度分别为^l和￡2，过渡段的总相移垃为屯o，