氮气分压对电弧离子镀CrNx薄膜组织结构的影响.pdfVIP

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2015-09-30 发布于湖北
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氮气分压对电弧离子镀CrNx薄膜组织结构的影响.pdf

真空科学与技术学报第30卷第6期 662 AND C唧呃SEJoIJRNAI，OFVAC删SC吲CETEC删Oi』XT．Y 2010年11、12月氮气分压对电弧离子镀CrN戈薄膜组织结构的影响陈康敏1。张晓柠1郑陈超1黄燕1关庆丰1宫磊2孙超2 (1．江苏大学材料科学与工程学院镇江212013；2．中国科学院金属研究所材料表面工程研究部沈阳110016) PartialPressureandMicrostructuresof Nitrogen ArcIon CrN工Coatingby Plating Chen Cha02 Yanl，Guan Lei2，Sun KBllgmin”，盈觚gXiaonin91，ZhengChencha01，HuangQingfengi，Gong (1．School Scienceand ofMaterial Engi咖，Jia,垮u‰蚵，z7l删妇罾212013，Ch／na； (2．D／旅／on Ch／nese 110016，Or／ha) of鼠咖∞Eng／neer／ngofMater／ah，lmt／mteofMeta／Re．arch，／hed∞幽形ofSdenee，Shenyang AbstractThe were arcion onTi-6m4Vsubstrates．Theofthe CrN。coatingsdepositedby plating impacts coating the ofthe mechanical conditions，includingnitrogenpartialpressure，depositionrate，dutycycle voltagepulse，on proper- of wereevaluated．The of characterizedwith mi- ties the microstructuresthe weIe electron coating coating scanning transmissionelectron resultsshowthatthe diffraction，and croscopy，X-my microscopy．The nitrogenp￡lnialpressuresignif- affectsthe andmechanicalofthe icanfly SUIfat舱morphologies，microstmcturespropertiesCrNzcoatinss．Forexample，as rises numberandsizesof the becomes smoothwithdecreased Cr