高纯气体中痕量氢气氧气的分析.pdfVIP

34 四川化工 　　　　　　　　　　　第 9 卷 　2006 年第 4 期 分析与测试 高纯气体中痕量氢气氧气的分析 赵 诚 王成端 (西南科技大学环境与资源工程学院 ,绵阳 ,62 10 10) 摘 　　要 高纯气体中痕量氢气 、氧气的分析在众多领域已成为研究的热点 ,特别是在某些特殊的场合对 这类气体的检测需要快速准确甚至实时在线一直是个难题 。传统的方法如气相色谱法 、气质联用 仪等能够精确地分析氢 、氧的浓度 ,但其成本高 、装置复杂 、使用和维修都比较麻烦 ,在一些需要原 位 、在线测量的场合使用会受到很大限制 。本文详细介绍了两种检测痕量氢 、氧传感器的结构 、原 理和特性 , 以及对这两种气体的富集预浓缩方法 ,希望找出更为方便快捷使用传感器检测的方法 , 以便拓展这类气体的分析途径 ,为实时在线分析检测痕量的永久性气体提供参考依据和解决方案 。 关键词 :痕量分析 高纯气体 氢气 氧气 测定 传感器 结晶及电学性能[3 ] 。在我国的国家标准及 SEM I 标 1 前言 准中 ,绝大多数的高纯气体及电子工业用气 ,均将氧 高纯度气体通常被称为纯气或高纯气 ,也可称 气含量列为必控指标 。并且 H2 组分也是高纯气体 为高纯标准气 。它的作用一是用来配制标准混合气 众多控制杂质之一 。 体 ,二是用作分析测试 、科研及仪器调校中的零点气 表 1 各级纯气的等级分类 或终点气 。根据不同使用要求 ,可以选用不同纯度 ( ) ( - 6 ) 等级 纯度 % 杂质含量 10 等级的纯气 。高纯气体包括高纯 H2 、O2 、N2 等永 6 . 5N 99 . 99995 0 . 5 久性气体 ; 高纯度 He 、N e 、A r 等稀有气体 ; 高纯 6N 99 . 9999 1. 0 C H 、C H 等烃类气体 以及高纯 C1 、H S 、N O 等 5 . 5N 99 . 9995 5 . 0 4 2 6 2 2 特种气体[ 1 ] 。表 1 是我国各级纯气的等级分类[2 ] 。 5N 99 . 999 10 由于氧气无处不在 ,无孔不入 ,对于某些特殊领 4 . 5N 99 . 995 50 域 ,控制和防范它成为一项高难度的课题 。高纯气 4N 99 . 99 100 体的生产 、使用过程 ,就面临这一问题 。而在高纯气 3 . 5N 99 . 95 500 体制备过程中 ,氢气以产品、副产品、原料气 、还原气 3N 99 . 9 5000 等角色出现在诸多工艺环节 ,对最终产品中残余量 2N 99 10000 的控制 ,也成为高纯气体产品面临的普遍问题 。 注 :N 表示 9 。 高纯气体中氧气的存在会带来什么样危害呢 ? 在半导体生产工艺中 ,用到大量高纯气体 ,氧气所引 2 高纯气体中痕量氢气氧气的测定 起的氧化作用是造成器件性能退化 、寿命缩短的主 (