溶胶-凝胶制备氧化镉薄膜及其性质研究.pdf

第! 卷，第! 期 深圳大学学报理工版 #$% ! ，’$ ! !(() 年) 月 *+,-’./ +0 123’423’ ,’5#3-1567 1853’83 .’9 3’:5’33-5’: .; !(() !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号：(((=!?（!(() ） (!=()@=() 溶胶!凝胶制备氧化镉薄膜及其性质研究 罗仲宽，刘剑洪，刘O 玉，洪伟良 （深圳大学师范学院，深圳P?(( ） 摘O 要：用溶胶=凝胶法制备氧化镉薄膜，其先驱体溶液由醋酸镉溶解在无水乙醇中制得，涂膜方法是 旋转涂覆B 测试制得薄膜的光学、电学性质，结合测试结果，分析温度对薄膜的形成及其相关性质的影响B 关键词：溶胶=凝胶法；氧化镉薄膜；电阻；透光率 中图分类号：6Q )@O O O O 文献标识码：. O O 氧化镉薄膜是一种新型的氧化物半导体透明导 电膜B 它的禁带宽度是!!! I* R C$% ，电阻率一般是 ( S ) ! ·MC ，在可见光区的透光率为?(! A(! B 氧化镉薄膜的用途非常广泛，可以用来制造太阳能 电池、透明电极和防霜玻璃［］ 等B 制备氧化镉薄膜通常有喷雾热解法、溅射法［］ ［! T ? ］ 和化学浴沉积等方法 B 溶胶=凝胶工艺具有均匀 性好、化学计量比容易控制、工艺简单等特点，与 常规方法相比，安全性较高，故本文采用溶胶S 凝 胶法［A ］ 制备氧化镉薄膜B O 实O 验 以二水合醋酸镉为初始原料，乙醇为溶剂配制 图#$ 制备氧化镉薄膜流程图 先驱体溶液，浓度为 ( ( C$% R / 、( (! C$% R / 、 %’ #$ ()*+,’ -.)/012.0 )3 /*1424 )510 364 ( (@ C$% R / 和( (P C$% R /B 以普通的载玻片作为基 片，采用旋转涂覆的方法：旋转速度P(( R CEN ， 8F （82 8++ ）·!2 + 8F+ X !82 8++2 X 2 + @ ! ! @ ! 时间@( U ，然后在一定温度下热处理( CENB 重复 乙醇的作用是溶解醋酸镉，它不参加反应B 在 以上步骤，即可获得所需厚度的氧化镉薄膜，如图B 热处理过程中，由于温度较高，乙醇及分解产物被 采用双探针法测定薄膜电阻，采用 ,#=#51 光 蒸发，生成的氧化镉会附着在基体表面B 丙三醇及 谱仪测定薄膜在可见光区的透光率，用 13V 观察 三乙胺是作为稳定剂加入的，两者的存在对于溶液 薄膜的表面形貌B 的稳定有直接的决定性作用B 实验表明，加入了丙 三醇及三乙胺的溶液在搅拌下于常温时可保持@( F !O 结果与讨论 完全透明无色，然后才开始逐步浑浊；而不加稳定 剂的溶液则在配制) L 后即开始浑浊B 溶液配制完 ! #$ 反应原理 毕后，需要不停的搅拌，@ F 后方适于进行旋转涂 在!(( T @(( W 条件下，发生在基体表面的反 覆B 在此之前进行的实验很难得到质量较好的薄 应是：