热退火对电子束蒸镀方法制备的ZnOAl薄膜光电性质的影响.pdfVIP

第 卷 第 期 人 工 晶 体 学 报 !! #$% !! ’$ 年 月 ， ())* +( ,-./’01 -2 34’567589 9/435013 -:;$= ())* !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 热退火对电子束蒸镀方法制备的 ： 薄膜