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材料与结构 MateriaIsand 用于高效太阳电池的硅基微纳结构及制备 窦丙飞8，贾 锐8，陈 晨8，李昊峰8，岳会会8， 陈宝钦6，刘新宇8，叶甜春6 (中国科学院微电子研究所a．微波器件与集成电路研究室； b．纳米加工与新器件集成技术研究室，北京 100029) 摘要：介绍了用于高效太阳电池的几种硅基微纳结构的最新研究进展，重点介绍了几种硅基微纳 结构的制备方法，如阳极腐蚀制备多孔硅、各向异性制绒以及气液固(VLS)生长纳米线等，并 对各种方法的特点作了分析比较，指出了各种方法存在的问题。最后对今后研究的方向做了展 望，由于太阳电池在性能提高以及产业应用方面的需求，未来用于高效太阳电池的硅基微纳结构 仍是研究的热点之一。进一步提升其对太阳电池效率的优化能力将是研究的重要关注点，而其制 备技术也将向着低成本、大规模及可控制的方向发展。 关键词：硅基微纳结构；太阳电池；陷光；纳米线；多孔硅 中图分类号：TB383；TM914．4