用离子束增强沉积从V2O5粉末制备高热电阻温度系数VO2薄膜.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’! 5 %% 5 ， ， ， (@A 3’! ?@ 3 5 .BCBDE %% （ ） !%%%4#*%: %%: ’! %5 : !,554%’ .10. 7;=1. =?1. !%% 1FGH 3 7FID 3 =@J 3 ############################################################### 用离子束增强沉积从! # 粉末制备高热电阻 $ 温度系数!# 薄膜!