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指导小组成员名单
陆伟成副教授
万方数据
目 录
摘 要……………………………………………………………………………………………．．4
Abstract．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
第一章 绪论……………………………………………………………………………6
1．1 双成像光刻技术…………………………………………………………………一6
1．1．1版图分解………………………………………………………………………一7
1．1．2颜色分配…………………………………………………………………………9
1．1．3图形合并………………………………………………………………………．．10
】．1．4掩膜光刻…………………………………………………………………………11
1．2 多边形分解算法…………………………………………………………………．11
1．2．1使分解后切线总长度最短的多边形分解算法……………………………………．．12
2
1．2．2使分解后矩形总数最少的多边形分解算法…………………………………．1
1．2．3单方向多边形切割算法………………………………………………………13
1．2．4使分解后薄片总数最少的多边形分解算法…………………………………14
1．3 本文主要贡献……………………………………………………………………15
1．4 本文组织结构……………………………………………………………………15
第二章 与现有算法的具体比较…………………………………………16
2．1与单方向切割算法、切线总长度最小的切割算法的比较…………………………．16
2．2与矩形总数最少的切割算法的比较…………………………………………………．17
2．3与矩形总数最少的覆盖算法的比较…………………………………………………．18
2．4与不允许穿透的矩形总数最少的覆盖算法、薄片总最少的切割算法的比较……．．19
2．5与现有算法比较的小结………………………………………………………………．20
第三章 算法相关概念定义………………………………………………22
3．1 版图中多边形的特点……………………………………………………………22
3．2 当前点、参考边和参考域………………………………………………………23
3．3 优角形状的情况…………………………………………………………………24
3．4 分解距离…………………………………………………………………………26
第四章 版图分解算法……………………………………………………．28
4．1 当前优角和参考边位置关系的情况……………………………………………28
1
4．2 根据位置情况进行分解…………………………………………………………3
4．3 具体分解所体现的优势…………………………………………………………32
4．4 算法流程…………………………………………………………………………33
第五章 实验结果与分析……………………………………………………．34
5．1软硬件环境……………………………………………………………………………．34
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