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- 2015-10-03 发布于湖北
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一种电容式微机械加速度计的设计.pdf
第21卷第2期 传感技术学报 V01．21No．2
CHINESE OFSENSORSANDACIaJATORS
2008年2月 JOURNAL Feb．2008
Accelerometer|
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Study Capacitive
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ZHENG Si-jian，WANGYue-lin，JZhong-he
Xu-dong，CAOXue-cheng，ZHENGYang--ming’，LUO
ScienceElectronic
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