《InGaAs PIN光电探测器响应度测量系统的设计分析》.pdfVIP

InGaAs PIN 光电探测器响应度测量系统的设计分析 1 2 3 邱洁 ，任建华 ，齐立荣 1 北京邮电大学电子工程系，北京（100876) 2 北京邮电大学电子工程系，北京（100876) 3 北京邮电大学电子工程系，北京（100876) E-mail: qiujie1986@ 摘 要：本文给出了一种对已经制作完成的 InGaAs PIN 光电探测器光谱响应特性测量的方 法；光响应度是光电探测器的一个重要性能指标，我们通过搭建合适的测量系统，可以测量 自己制备的不同光电探测器芯片的光谱响应特性，进而分析芯片的质量，以便于改进以后芯 片制作，实现不断的完善，具有很大的实用性。本文简单的介绍了这种自主设计的测量系统， 并