化学法制备激光光学薄膜及激光损伤机理研究.pdf

摘要 摘要 溶胶一凝胶法作为一种新的镀膜方法用于制备激光薄膜还存在着许多技术 难点，本课题通过研究整个制膜过程中的复杂化学、物理过程，解决用该法制 备减反膜、多层介质反射膜等激光光学薄膜等存在的众多技术难点。本论文采 用溶胶一凝胶(S01．Gel)技术，结合EssentialMacleod膜系设计程序，对S01．Gel 方法制备的各种激光光学膜进行了理论设计、制备工艺改进、薄膜性能表征等 研究工作。此外还研究了溶胶一凝胶光学薄膜的激光损伤机理，并提出了一些 提高薄膜激光损伤阈值的方法。 本论文第一章介绍了化学法制备激光光学薄膜和光学薄膜激光损伤机理国 内外研究现状与发展趋势。对溶胶一凝胶技术、溶胶一凝胶薄膜制备技术、光 学材料激光损伤机理以及光学薄膜的激光损伤和破坏进行了阐述和归纳。 本论文第二章介绍了Maxwell方程组、物质方程和波动方程、平面电磁波 在介质中的传播、电磁波通过界面折射和反射的发生等基础理论。重点阐述了 光学增透膜理论基础和光学高反膜理论基础。运用EssencialMacleod薄膜膜系 设计软件对各种光学薄膜进行理论模拟。用堆积密度的概念模拟了溶胶．凝胶法 制备的纳米多孔薄膜的折射