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晶片直接键合所需表面粗糙度条件.pdfVIP

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  • 2015-10-07 发布于重庆
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晶片直接键合所需表面粗糙度条件.pdf

    晶片直接键合所需表面粗糙度条件

    第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 晶片直接键合所需表面粗糙度条件 马子文 汤自荣 廖广兰 史铁林 华中科技大学机械科学与工程学院武汉光电国家实验室武汉

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