微磨料气射流加工特性实验研究（射流）.pdfVIP

· 前道制造· 电子工业专用设备 EPE IC 微磨料气射流加工特性实验研究 任延岿,吕玉山,孙建章 (沈阳理工大学机械工程学院,沈阳 ) 110168 摘 要:为了获得微磨料气射流加工的一般原理,设计了一套微磨料气射流喷砂实验装置,利用 该装置实验调查了射流特性及喷射参数对微磨料气射流加工的影响规律,并结合气固两相流理 论对问题进行了分析。得到了微磨料气射流加工中喷射距离、喷射时间和磨料粒度对加工效果的 影响规律 最终确定了合理的加工参数。 , 关键词:微磨料气射流加工;气固两相流;喷嘴 中图分类号: 文献标识码: 文章编码: TG115.6 A 1004-4507（2007）01-0062-04 RENYan-kui, LUYu-shan, SUNJian-zhang （MAJM）,theprinciple Keywords:Micro-abrasiveJetMachining ；Gas-liquidtwophase；JetNozzle 1 引 言 制、无热影响区等优点。作为一种微细加工技术， MAJM是在传统的喷砂加工技术基础上发展起来 微磨料气射流（Micro-AbrasiveJetMachining， 的一种精细加工方法。它结合了微细磨料切削、磨 以下简称MAJM）加工技术是对硬脆材料进行微细 料的连续送料技术和掩膜加工技术的特点，特别适 加工的一种非常有潜力的方法。与其它的加工技 于加工不宜使用热加工技术切割的硬脆材料，如适 术相比，微磨料气射流加工具有环境友好、易于控 用于制作半导体、电子设备和液晶显示元器件的陶 收稿日期: 2006-01-09 作者简介: 任延岿(1976-)，男，辽宁沈阳，沈阳理工大学硕士研究生，研究方向：微磨料射流加工技术。 62 （总第144期）Jan. 2007 EPE 电子工业专用设备 · 前道制造· IC EquipmentforElectronicProductsManufacturing 瓷、玻璃、聚合物等材料的精密微细加工。但现在所 混料室有重力式、吸入式、直压式、振动式和搅 用的微磨料气射流系统仅是简单地采用喷砂的原 拌式等。通过调研和考查国内外一些喷砂装置的混 理，急需对装置的喷射特性及不同喷射参数对材料 料方式，认为直压式结构简单而且效果较好。本实 去除效应等进行基础的研究，尽管许多学者对此进 验采用前混和磨料直压式混料室，混料室结构如图 [1～7] 行了较深入的研究 ，但一些材料去除的相关问 2所示。 题仍需要深入。本文作者根据MAJM的加工原理, 设计搭建了一套原理性试验装置，根据实验数据， 结合气固两相流理论，分析了若干加工参数对微磨 料气射流加工效果的影响,为微磨粒气射流加工的 深入研究打下一定基础。 2 实验装置设计 实验原理 进气口 出气口 磨料 2.1 微磨料气射流加工是利用微细磨料与高压空 图2 混料室 气或其它气体混合而成的速喷射流，通过专门设计 在实验中，选用空气压缩机作为高压气体提供