表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响.pdfVIP

维普资讯 第26卷第 2期 光 电工程 Vo1．26， No．2 1999年 4月 O—ElectronicEn~{neeri April．1999 文章编号 ：1003--50X(1999)02一∞3O—O5 表面微观形貌测量 中 0 ，， 2 ， (清华大学精密仪器系精密测试技术及 仪器 国家重点实验室，北京 100084) 摘要 ：以AFM 测量的表面微观彤貌为基础 ，采用数值仿真技 术，定量地分析先探针 直径对表面微观彤貌洲量的影响。结果表 明：评定参数 R。，R，R …R Rk以厦平均轮 廓斜率和最大轮廓斜率都随先探针直径 的增加而减小 ，尼 随先探针直径的增 大而增 TH742 中图分类号：删文献标识码：：A，^r】^^-士钾喵探