传感器原理8 压电式传感器.ppt

1 第八章 压电式传感器 压电效应 压电材料 压电传感器的等效电路与测量线路 压电式传感器： 加速度传感器 力传感器 压力传感器 压电式传感器的误差分析 §8.1 压电效应 顺压电效应：某些电介质，在受到一定方向的外力作用而变形时，内部产生极化现象，而在其表面产生电荷，当去掉外力后，又重新回到不带电状态，这种将机械能转换成电能的现象，称为顺压电效应，又称为压电效应。 逆压电效应：当在电介质极化方向施加电场时，电介质在一定方向上产生机械变形，内部出现机械应力，这种将电能转换成机械能的现象称“逆压电效应”,又称为电致伸缩效应--驱动器。 压电传感器的特点 1）磁电式速度传感器响应频率范围窄； 2）磁电式机械运动部件容易损坏； 3）磁电式传感器质量大，造成系统附加质量大。 一、石英晶体（SiO2)的压电效应 特点： 石英晶体是各向异性晶体 晶体分右（左）旋 外形规则 石英晶体的三个晶轴 光学轴（基准轴，Z轴）：光沿该方向通过没有双折射现象，该方向没有压电效应，光学方法确定。 电轴（X轴）：经过晶体棱线，垂直于该轴的表面上压电效应最强。 机械轴（Y轴）：垂直于XZ面，在电场作用下，该轴方向的机械变形最明显。 受到X方向的力—纵向压电效应 受到Y方向的力—横向压电效应 受到Z方向的力—没有压电效应产生 受到三向等压力—没有压电效应产生 二、压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷极化处理 三、压电常数和表面电荷计算 1、压电效应的表达式： 压电特性的矩阵表示 关于压电特性矩阵的说明： 表示压电元件的能量转换方式 dij的大小表示压电效应的强弱 若矩阵中某一dij=0,则表示在j方向上的应力在i方向上没有压电效应 是选择转换元件、确定压电效应产生方向、转换效率的重要依据 压电效应能量转换的几种基本形式 正压电效应与剪切压电效应比较 2、石英晶体的压电常数和表面电荷计算 ㈡实验研究，在y面上产生电荷 石英晶体的压电方程 石英晶体的基本变形形式 厚度受力变形（d11) 3、压电陶瓷的压电常数和表面电荷计算 1）在?1、 ?2、 ?3作用下，z面产生电荷(d31≠0, d32≠0, d33≠0 ） 2）在?4作用下，在y面产生电荷(d24≠0）——厚度切变型 3）在T5作用下，在x面产生电荷(d15≠0）——厚度切变 压电陶瓷压电方程 压电陶瓷变形形式： 厚度变形：d33 长度变形： d31 、d32 厚度剪切变形： d24、 d15 体积变形：d31 、d32 、d33 练习 §8.2 压电材料 压电晶体 压电陶瓷 高分子压电材料 一、压电晶体 1、石英晶体的几何切型：在晶体坐标中取某一方位的切割. 石英晶体的基本切型 例1：（yxl)+35015’(AT切型） 例2 （xytl)+50/(-500)(NT切型）： 2、石英晶体的主要性能 不需要人工极化 没有热释电效应 介电常数、压电常数的温度稳定性好 居里点温度高：5730 C 居里点：压电材料开始丧失压电性能的温度 性能稳定、机械强度高 二、压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3） ： 1）最早使用； 2）由碳酸钡和二氧化钛按一定比例混合后烧结而成； 3）d15=260PC/N,d31=-78PC/N,d33=190PC/N ，是石英的几十倍； 4）工作温度最高只有80℃, 温度稳定性和机械强度都不如石英。 压电陶瓷 锆钛酸铅（PZT）：(有4、5、8等多种系列） 1）目前普遍使用； 2）是钛酸钡（BaTiO3)和锆酸铅（PbZrO3）组成； 3） d15=410,d31=-100,d33=200； 4）工作温度250℃ 。性能远优于钛酸钡。 三、聚偏二氟乙烯（PVF2) 有机高分子半晶态聚合物，定向拉伸后，由?晶型转化为?晶型，此时有压电效应； 压电常数在拉伸长度方向最大，d31=20PC/N,垂直于长度方向的压电常数 d32?0.2 d31; 频响范围宽，10-5Hz~500MHz; 柔软，加工性能好； 声阻抗与水、人体肌肉接近； 热稳定性好。 § 8.3 等效电路和测量电路 考虑实际使用的等效电路－实际使用时与测量仪器或测量电路相连接, 因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc,压电传感器的泄漏电阻Ra，和放大器的输入电阻Ri、 输入电容Ci。 压电传感器的特点以及对信号处理电路的要求： 特点： 有源传感器 高阻抗传感器 小功率 要求： 阻抗变换 信号放大 测量电路 前置放大器两种形式: 电压放大器和电荷放大器。 一、电压放大器 讨论： ω=0时（静态） ，Uinm/Uam=0（输入电压为零） 原因：由于等效电阻不可能无穷大，存在电荷泄漏，所以不能测量静态量。 ??3（动态），Uinm/Uam≈1，接近理想特性。 一定频率范围，输入电压与作用力频率无关。 τ一定，ω越高，响应越好。 对低