超纯氧中ppb级一氧化碳氮乙烷的预浓缩气相色谱分析.pdfVIP

超纯氧中ppb级一氧化碳、氮、乙烷的 预浓缩气相色谱分析 高 增 朱风顺 唐学渊 韩同生 钟秀贞 卢佩章 （中国科学院大连化学物理研究所） 提〔要〕 研究了氦离子化鉴定器H（ID）气相色谱与预浓缩技术相结合的方法，测定超纯氧 等气体中痕量一氧化碳、氙、乙烷。此法既提高了方法的灵敏度，又克服了常温下痕量杂质与主 组分分离的困难。本工作对影响方法灵敏度、准确度的诸因素进行了考察，并选择了最佳条件。 文中叙述了最大浓缩样品量的选取原则及方法，还介绍了一种新的制取标样的方法和装置。本方 法采用13X分子筛浓缩柱，浓缩温度为-78 ，脱附温度为150 ；色谱柱为 4 600毫米不锈钢 管，内装1克60-80目13X分子筛室（温）；以5个9的超纯氦为载气，流速40毫升／分；鉴定器为 300毫居的氚钪靶为放射源；极化电压为315伏；进样量为300毫升；吹扫气量为100毫升。氧中 一氧化碳、氙、乙烷的最小可检知浓度分别为1,0.5,1ppb。平均相对偏差一般不大于10%。每分析 一次样品的时间约为25分钟。 光导纤维、半导体、电子器件等工艺及 某些科研工作对超纯氧的纯度要求越来越 实 验 部 分 高，因此超纯氧中痕量杂质的测定显得十分 （一）流程设备 重要。国外曾报导，用气相色谱法测定Ar和 仪器设备是自制的，流程示意 图见图 N2l，用质谱法测定H2,Ar,N22，其最小 1。 检知浓度均在十至数百ppm之间。有人曾采 二（）分析步骤 用SP5000红外可调二极管激光光源分光计， 1．仪器管线各接头、阀件应紧密连 测定燃烧尾气中ppb级痕量杂质，对CO的最 接。各部件气密性良好，并用载气进行长时 小检知浓度为15ppb3。国内北京氧气厂 间吹扫，使载气、吹扫气空白值降至1ppb 在CARLOERBA2700色谱仪H（ID）上， 以下。 使用AgX分子筛作脱氧剂并采用柱切换技 2．使浓缩柱处于-78℃约2分钟，在 术，测定超纯氧中痕量杂质CH4,Ar,N2, 吹扫气40-50毫升／分的流速下，用针筒取 Kr,CO2，最小检测极限为20-50ppb4〕。 典型样品于19处以最佳流速进样，然后继续 但此法也不能测定CO。FabrizioBruner等 通吹扫气100毫升。 人用HID气相色谱法，直接进样分析空气中 3．转动8使吹扫气通向20，去冷源， CO，最小检知浓度为50ppb5。我们采用了 换上150℃热源2分钟。 HID气相色谱法与预浓缩色谱技术相结合的 4．旋转六通阀4将浓缩柱中样品送到 方法，既可排除主峰的干扰又可降低方法的 6中分离分析。 最小检测浓度。在CO被浓缩的同时，Xe, 5．用定体积活塞11从配气瓶14中取微 C2H8也得到浓缩，故可同时测定这三种杂 量标准气体进行浓缩、测定，以校正未知 质。 样。其操作如下：用泵16将配气瓶14抽空至 1毫米汞柱以下，然后充以吹扫气，再抽 （三）分析结果 用上述方法多次分析了自制超纯氧、电 解氧、空分氧、自配空分氧、高超氩及空气 等中CO及部分样品中的Xe,C2H6,其结果见 表 1，典型色谱图见图2。 表1 样 品分析 结果 空、充气，置换数次，使14中欲分析杂质