高速振镜理论的研究及其实践.pdfVIP

摘要 激光标刻是一种新型标刻方式 它具有非接触 无污染 无磨损等独特优点 是激 光技术在工业中的重要应用 振镜扫描式激光标刻系统是激光标刻中采用最多的标刻方 式 它的加工精度高 标刻速度快 有逐渐取代其它激光标刻方式的趋势 本文包括振镜扫描器组成原理分析 振镜扫描器伺服系统理论设计 振镜扫描器伺 服电路设计三部分 振镜扫描器由扫描反射镜 扫描电机及伺服驱动电路 角位置传感器和扫描物镜组 成 文中探讨了各组成部分的工作机理和结构特点 定量给出了角度传感器输出电压与 电机转角的比例关系 并根据电机转矩平衡和电枢电压平衡两大规律推导出扫描电机偏 转角度与驱动电压之间的函数关系 建立了扫描电机的数学模型 进行伺服系统理论设计时 将振镜扫描器抽象为一个典型的位置随动控制系统 根 据扫描电机的数学模型确定了位置反馈加电流反馈的双闭环负反馈控制结构 为保证振 镜扫描器按照系统性能要求稳定 快速 准确地运行 接下来根据扫描电机的特性设计 了由串联PID 控制器和转速微分负反馈控制器构成的校正装置 这样就得到了振镜扫描 器伺服系统的理论模型 最后 根据伺服系统的理论模型 设计了振镜扫描器伺服驱动电路 这一电路是伺 服系统理论模型的物理实现 还具有众多的辅助功能 使振镜扫描器在各种工作状况下 都能准确 稳定 安全地运行 证明本课题设计的振镜扫描器伺服驱动电路达到了振镜 扫描器的各项性能要求 能够满足激光标刻应用的需要 关键词 激光标刻 振镜扫描 位置随动控制 闭环控制 串联校正 反馈校正 I ABSTRACT Laser marking is a new type of marking method. Because of its so many particular merits, laser marking is an important application of laser technology in industry. Galvanometer scanning laser marking is a widely adopted scanning method in laser marking, which will replace other types of laser marking mode gradually. This thesis consists of three parts including analysis of galvanometer scanner construction, galvanometer scanner servo theory design and galvanometer scanner servo circuit design. Galvanometer scanner includes reflecting mirror, scanning motor servo circuit, angle sensor and scanning field lens. In this thesis, the operating mechanism and construction are analyzed. The quantificational relation between rotation angle sensor output voltage and motor rotation angle is deduced. The relation between rotation angle and driving voltage based on the motor moment balance law and the armature voltage law is inferred. The motor mathematical modeling is completed.