洁净室散发的VOC的特性与测量.pdfVIP

维普资讯 2002年第2期 洁净室散发的VOC的特性与测量 天津大学环境学院 涂光备 用文忠 周志华 北京联合大学 刘学营 文 摘 现代半导体洁净室中，生产过程所产生的有机挥发物 (VOC) 已成为影响产品 品质的关键 问题之一。本文对洁净室里VOC的来源进行 了分析，并对人体和洁净室结构材料 产生的VOC的特性和测量方法进行 了讨论。 关键词 洁净室 人体 结构材料 有机挥发物 特性 测量 Abstract Inmodernsemiconductorindustry，volatileo~amccompounds (VOC)generated during producing processhave become oneofkeypmblemswhich affecton productqualities， We analyze the sources ofV0C generation in a cle~Lrlroom and diSCUSS the belI8vior and measurementmethod ofVOC generated byhuman body and c~anmom construction materials in tllisarticle． Keywords Cleanrcom Humtltlbody ConstructionnMI“Hials VOC Behavior Measu~ment 体表面等所有部分产生的VOC。 1 引言 一 般可以采用浓缩水或固体吸收方法测量呼 现代半导体工业 的洁净室中 ，有机挥发物 出气体产生的VOCm，而身体产生的VOC通常应 VOC是最重要的化学污染之一 ，洁净室 中所产生 用一个双圆柱容器并采用固体吸收方法来测量 。 的VOC，其主要来源可分为以下六方面 ： 2．1 测试概况 — — 洁净室 的结构材料 在一项人体散发污染物 的研究中，进行 了以 — — 人体 下三项测试 ill： — — 设备材料 一 测试 1：呼出气体 中的VOC数量 — — 生产过程中的泄露 一 测试 2：人体表面产生的VOC数量 — — 运输及存储材料 一 测试 3：人体全部产生的VOC数量 — — 室外空气 所有这三项测试在洁净室中的小室 内进行 ， 在这些来源中 ，人体产生 的VOC不但来 自 室温为23℃，相对湿度为 35％ 于呼出气体 ，而且也包括身体表面产生的VOC； 2．2 测试 1方法和结果 对洁净室结构材料散发的VOC的数量和特性的 在洁净室中用一个荧光树脂袋收集 10升被 评价也变得越来越重要。本文综合国外研究成 测试者的呼出气体 。 果、测试方法 ，对洁净室 VOC的这两大主要来 图 1给出了收集呼出气体产生 的v0C的系 源进行了分析和讨论。 统，它包括除湿凝结器和VOC采集吸收管。凝