SNOM光学探针高度控制技术研究.pdfVIP

第 18 卷 第 1 期 电　子　显　微　学　报 Vol- 18, No 1 1999 年 2 月 Journa l of Ch inese Electron M icroscopy Soc iety 1999- 02 ( ) 文章编号: 1999 010124128 SNOM 光学探针高度控制技术研究 王克逸　王　昕　金　农　黄文浩 ( 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 合肥 230026) 摘　要: 本文介绍采用非光学方法实现剪切力( shear fo rce) 检测和轻敲(tapp ing) 模式微振动检测。 通过检测压电片上的电压输出, 用作探针与样品间距控制信号, 实现扫描近场光学显微镜(SNOM ) 光 学探针与样品间距控制。文中给出了探针压电片检测系统的的频率特性, 并比较了剪切力探测和轻 敲模式探测特性的区别。在剪切力作用下探针在正负半周振动时受到的作用力是对称施加的, 谐振 状态受剪切影响, 随作用力增大振幅连续减小。而在轻敲模式工作时探针受到非对称力作用, 因而在 ( ) 探针的谐振状态与作用力关系 力曲线 上表现出不同特征。采用轻敲方式时存在最佳工作频率, 只 有在该频率下才能得到合适的力曲线, 并获得较好的图像。 关键词: 光学探针; 谐振; 剪切力; 轻敲模式 分类号: TH 7429; TB 8112　　文献标识码: A 目前在扫描近场光学显微镜(SNOM ) 中广泛使用的针尖样品高度控制方法是通过剪切力 [ 1 ] 检测 , 而剪切力信息是将激光聚焦在光纤探针上, 测量散射光随探针振动的变化得到的。另外, [ 2 ] [ 3 ] 通过在光纤探针弯曲部抛光形成的反射面 或粘贴反射片 也能获得探针振动信号。但是, 光学 方法存在固有的缺点, 用在 SNOM 探针振动控制时会增加许多复杂性。主要缺陷包括: 1) 由于通常光点聚焦在光纤尖端附近紧靠样品处, 样品的起伏有可能使被检测光受阻挡, 造 成振幅减小的假象。 ) ( 5 ) 2 用于检测探针振动的激光强度远比由孔径进入光纤的光要强得多 10 倍 。因而会对由 探针孔径检测到的近场光信号产生干扰。另外振动检测信号还可能与样品发生作用, 产生不利影 ( ) 响 如荧光、激发等 。 3) 系统复杂, 更换探针时要重调系统, 操作不便。也不宜在真空中工作。 由于有这些缺陷, 非光学的检测方法正引起人们的重视。已报道用隧道电流来控制探针高 [ 4 ] [ 5 ] [ 6 ] 度 、用原子力探针 或用石英音叉检测光探针的振动 。这些方法都获得成功, 但各有其局限 [ 7 ] ( 性。 . 做了较有特色的工作。将光纤插在微小的压电陶瓷管内 采用四分割电极, 内径 J Barenz 15 , 壁厚 025 , 长 10 ) 。在一个象限上加激励信号, 另外 3 个象限接收振动信号。这种 mm mm mm 结构需要在大的振动峰的背景下检测到由探针生产的很小的谐振峰。这个特征峰不易找到, 给检 测带来较大困难。 压电片检测原理 用微型陶瓷管检测到的光纤探针谐振峰很小是由于陶瓷管子的刚性太强, 因而不易产生足 够的形变, 使输出电压减小。为此我们设计