多晶硅生产的质量控制.pdfVIP

多晶硅生产的质量控制多晶硅生产的质量控制 多晶硅生产的质量控制多晶硅生产的质量控制 （改良西门子法（改良西门子法）） （（改良西门子法改良西门子法）） 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 2011年2011年66月月 年66月月 多晶硅的质量是生产出来的多晶硅的质量是生产出来的，质量控制，质量控制 多晶硅的质量是生产出来的多晶硅的质量是生产出来的，，质量控制质量控制 致力于满足质量要求致力于满足质量要求，通过对生产过程的质，通过对生产过程的质 致力于满足质量要求致力于满足质量要求，，通过对生产过程的质通过对生产过程的质 量控制量控制，可以生产出稳定高质量的产品，可以生产出稳定高质量的产品。。 量控制量控制，，可以生产出稳定高质量的产品可以生产出稳定高质量的产品。。 一、一、多晶硅生产质量控制的关键工序多晶硅生产质量控制的关键工序 一一、、多晶硅生产质量控制的关键工序多晶硅生产质量控制的关键工序 多晶硅产品质量重点关注多晶硅产品质量重点关注：： 多晶硅产品质量重点关注多晶硅产品质量重点关注：： 施主施主、受主、受主、碳、碳、、金属金属 施主施主、、受主受主、、碳碳、、金属金属 表面质量表面质量 （夹层（夹层、氧化、氧化、无定形硅、无定形硅）） 表面质量表面质量 （（夹层夹层、、氧化氧化、、无定形硅无定形硅）） 1、精馏工序、精馏工序 、、精馏工序精馏工序 1、精馏工序、精馏工序 、、精馏工序精馏工序 影响多晶硅中磷影响多晶硅中磷、硼、硼、、碳碳、、金属杂质含量金属杂质含量 影响多晶硅中磷影响多晶硅中磷、、硼硼、、碳碳、、金属杂质含量金属杂质含量 加压精馏效果显著加压精馏效果显著 加压精馏效果显著加压精馏效果显著 严格控制回流比和塔釜排料严格控制回流比和塔釜排料 严格控制回流比和塔釜排料严格控制回流比和塔釜排料 对合成三氯氢硅进行预处理对合成三氯氢硅进行预处理，预处理后质量水平，预处理后质量水平: 对合成三氯氢硅进行预处理对合成三氯氢硅进行预处理，，预处理后质量水平预处理后质量水平 B＜＜20ppbw，，C＜＜2ppmw，，P＜＜3 ppbw ＜＜ ，， ＜＜ ，， ＜＜ 合成合成、还原、还原、氢化分线提纯、氢化分线提纯、分线供料、分线供料 合成合成、、还原还原、、氢化分线提纯氢化分线提纯、、分线供料分线供料 2、尾气回收工序、尾气回收工序 、、尾气回收工序尾气回收工序 影响回收氢的质量影响回收氢的质量，多晶硅中施主杂质含量，多晶硅中施主杂质含量 影响回收氢的质量影响回收氢的质量，，多晶硅中施主杂质含量多晶硅中施主杂质含量 吸收塔吸收塔 （喷淋温度（喷淋温度、喷淋量、喷淋量、吸收压力、吸收压力）） 吸收塔吸收塔 （（喷淋温度喷淋温度、、喷淋量喷淋量、、吸收压力吸收压力）） 吸附柱吸附柱 （尾气量平稳（尾气量平稳、吸附柱再生温度和吹扫气量、吸附柱再生温度和吹扫气量）） 吸附柱吸附柱 （（尾气量平稳尾气量平稳、、吸附柱再生温度和吹扫气量吸附柱再生温度和吹扫气量）） 3、还原工序、还原工序 、、还原工序还原工序 硅芯安装硅芯安装 硅芯安装硅芯安装 还原还原 石墨件等石墨件等 还原还原 炉壁炉壁、底盘、底盘 石墨件等石墨件等 炉壁炉壁、、底盘底盘 工序工序 耗材质量耗材质量