《椭偏与光度法联用精确测定吸收薄膜的光学常数与厚度》.pdf

第卷第期 年月 ５９ ４ ２０１０ ４ 物　 理　 学　 报 Ｖｏｌ．５９，Ｎｏ．４，Ａｐｒｉｌ，２０１０ １０００３２９０／ ２０１０／ ５９ ０４ ／２　３５６０８ （） ＡＣＴＡ ＰＨＹＳＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ２０１０ Ｃｈｉｎ．Ｐｈｙｓ．Ｓｏｃ． 椭偏与光度法联用精确测定吸收薄膜的  光学常数与厚度  周毅吴国松代伟李洪波汪爱英 　 　 　 　 　 　 （中国科学院宁波材料技术与工程研究所，宁波 ） 　 ３１５２０１ （２００９ 年６ 月１８ 日收到；２００９ 年７ 月２８ 日收到修改稿） 　 　 介绍了一种同时利用椭偏仪和分光光度计精确测量薄膜光学常数的方法，并详细比较了该方法与使用单一 椭偏仪拟合结果的可靠性．采用可变入射角光谱型椭偏仪（ＶＡＳＥ）表征了２５０—１７００ ｎｍ 波段辉光放电法沉积的类 金刚石薄膜，研究发现当仅用椭偏参数拟合时，由于厚度与折射率、消光系数的强烈相关性，无法得到吸收薄膜光 学常数的准确解．如果加入分光光度计测得的透射率同时拟合，得到的结果具有很好的惟一性．该方法无需设定色 散模型即可快速拟合出理想的结果，特别适合于确定透明衬底上较薄吸收膜的光学常数． 关键词：光学常数，光谱型椭偏仪，吸收薄膜，透射率 ＰＡＣＣ：０７６０Ｆ，７８２０Ｄ，７８６５ ［３—５］ 产生至少４—５ 个干涉极值 ．全谱拟合法则需要 １ 引 言 借助色散模型，选用不同的色散模型对结果影响很 ［］６ 大椭偏法具有无损非接触、高灵敏度、高精度的． 随着光电技术以及微电子技术的快速发展，薄 特点，无需特别制备样品，能对数纳米厚的超薄薄 膜的应用领域越来越广，各种厚度只有几百甚至数 膜测量，是目前精确测量薄膜光学常数最主要的方 ［］７ 十纳米的单层或多层功能薄膜成为当前材料研究 法．但是，椭偏法的数学计算复杂，在数据拟合 ［８—１０］ ． ｄ ｎ 时，通常也需要借助色散模型减少拟合参数 ． 的热点薄膜的厚度，以及光学常数（折射率和 消光系数ｋ）决定了薄膜的透射、反射和吸收等各种 在测量吸收薄膜，特别是厚度小于１００ ｎｍ 的很薄的 光学特性，对于光学薄膜而言，折射率和消光系数 吸收薄膜时，由于厚度与光学常数之间很强的关联 ［ ，］ １１ １２ 的精确测定是进行光学设计的前提条件．对于半导 性 ，往往难以得到惟一的结果．鉴于此，本文采 体材料和器件，薄膜的吸收光谱（）（吸收系数 用椭偏仪和分光光度计同时联合使用，建立了一种 α λ α ＝４ ｋ／ ）可用来研究电子能带结构、光学跃迁、声