对靶磁控溅法沉积类三明治结构过渡金属纳米薄膜的磁特性和微结构研究.pdfVIP

摘要 随着磁记录存储密度的不断提高，由纳米尺度的铁磁金属颗粒如Fe、Co、Ni及 其合金等构成的磁性颗粒膜引起了人们极大的注意，成为当前研究的热点。本实验中 征，研究工作如下： 1．制备了Ag(xnm)／Fe(15 我们通过分析得出，Ag层厚度对样品的矫顽力影响较大，随Ag层厚度的增加，矫 nill时，垂直膜面方向的矫顽力最大，此时平 顽力先增加再减小。当Ag层厚度为3 均粗糙度较小为0．2nln。分析认为矫顽力变化是由于形状各向异性导致的。 2．制备了Ti(xnm)／Fe(15nm)／Ti(x 过分析我们知道，矫顽力随Ti层厚度增加基本呈逐渐增大的趋势。对于Ti层厚度为 3 Oe和1864 nnl和5nm的样品，垂直膜面方向的矫顽力较大，分别为1710 Oe。如 此大的矫顽力的产生主要是由于Ti的引入一方面提高了样品的晶化程度，另一方面 是由于小尺度的Ti层，在基片上呈不连续的岛状分布，类似于模板，从而导致Fe中 间层呈柱状生长