柔性基材的频等离子体表面改性.pdfVIP

柔性基材的射频等离子体表面改性 柔性基材的射频等离子体改性 摘要 基于柔性基底材料如聚对苯二甲酸乙二酯(PET)等的柔性电子 (flexible electronics)技术近年来得到迅猛发展。但是由于高分子薄 膜的表面能低，柔性基板表面与导电膜之间的粘结情况会直接影响柔 性电子器件的整体质量。目前，最简单的方法就是对其进行表面改性 处理。射频等离子体电子密度高，能量大，易于发生或引发相关物理、 化学反应，运用射频等离子体对柔性基材进行表面改性，能改善其亲 水、粘结等性能的影响，提高其与金属导电膜的结合强度，甚至取代 传统上柔性触摸屏和太阳能电池中采用的聚合物导电胶。因此，对柔 性基材的射频等离子体改性研究具有重要的实际意义。 本文系统地研究了射频容性耦合等离子体(RFCCP)对PET薄膜 的表面改性，并对其表面的物理化学变化进行分析表征。接触角、扫 描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱 (XPS)、剥离试验分析测试结果表明，纯氩等离子体对PET膜表面 以离子刻蚀为主，它能对PET膜表面起清洁作用，同时