激光五自由误差同时测量的研究.pdfVIP

中文摘要 摘要：在精密加工行业中，数控机床与加工中心几何位置精度的检测是保障产品 精度和质量的重要手段。传统六自由度误差检测方法为双频激光干涉法，此种方 法费时又费力。因此研制高效集成化的多自由度误差同时测量系统成为一个亟待 解决的问题。 本论文搭建了五自由度误差同时测量系统，为后续的六自由度误差同时测量 系统提供了研究平台。该系统采用半导体激光器作为光源，利用了半导体激光器 体积小易于泵浦的特点。激光耦合进单模光纤抑制了激光的平漂和角漂，保证了 直线度和角度误差的测量基准的稳定性。靶镜由误差敏感器件半透半反镜和角锥 棱镜构成，体积小且不带电缆，满足长距离测量要求。系统采用四象限探测器和 位置敏感探测器完成光电转换，将自由度误差信息转换成易测的模拟量，采用单 片机采集数据并通过串口发送到计算机，实现了五自由度误差(X直线度、Y直 线度、俯仰角、偏摆角、滚转角)的同时测量。系统体积小、测量精度高、成本 低。 本论文完成了光学元件和光电器件的选择、光路的设计、电路的设计和软件 的编写以及系统的搭建和调试，对系统的性能进行了测试。实验表明系统的稳定