电子微束分中粗糙样品表面形貌的蒙特卡洛方法模拟研的模拟研究.pdfVIP

摘 要 摘 要 电子与固体中的相互作用构成了许多材料分析工具（扫描电子显微学、表面 电子能谱学、电子探针微分析等）的物理基础（第一章）。根据固体/表面中的 电子散射理论和Monte Carlo 模拟方法，基于实体结构几何法构造模型，我们 研究了梯形线几何体在扫描电子显微镜的主要信号成像、测量线宽的性质（第二 章）。基于有限元三角形网络法模型构造(第一章)，我们研究了粗糙表面的电子 能谱、二次电子产额和背散射电子产额（第三章）。所采用的电子在固体中的 Monte Carlo 散射模型是：弹性散射利用的是Mott 微分截面，而非弹性散射利 用的是基于实验光学常数数据的介电函数近似，并且在模拟中包含了级联二次电 子的产生。 在扫描电子显微成像以及纳米线宽测量初步研究中（第二章），我们采用了 体构造法构建出具有一定边墙角的梯形线几何体，并且基于此模型，用 Monte Carlo 方法模拟了光滑表面的 Au 刻蚀线在不同参数（即高度、宽度、边墙角、 入射电子束宽和能量）下模拟得到的测量线宽，同时，比较了测量线宽与实际线 宽的关系。此工作对于CD-SEM 纳米尺度的精确测量学有一定的指导意义。