电子微束分中粗糙样品表面形貌的蒙特卡洛方法模拟研究.pdfVIP

摘要 摘要 电子与固体中的相互作用构成了许多材料分析工具(扫描电子显微学、表面 电子能谱学、电子探针微分析等)的物理基础(第一章)。根据固体／表面中的 电子散射理论和MonteCarlo模拟方法(第二章)，基于实体结构几何法构造 模型(第三章)，我们研究了梯形线几何体在扫描电子显微镜的主要信号成像、 测量线宽的性质(第四章)。基于有限元三角形网络法模型构造(第三章)，我们 研究了粗糙表面的电子能谱、二次电子产额和背散射电子产额(第五章)。所采 用的电子在固体中的MonteCarlo散射模型是：弹性散射利用的是Mort微分截 面，而非弹性散射利用的是基于实验光学常数数据的介电函数近似，并且在模拟 中包含了级联二次电子的产生。 在扫描电子显微成像以及纳米线宽测量初步研究中(第四章)，我们采用了 体构造法构建出具有一定边墙角的梯形线几何体，并且基于此模型，用Monte Carlo方法模拟了光滑表面的Au刻蚀线在不同参数(即高度、宽度、边墙角、 入射电子束宽和能量)下模拟得到的测量线宽，同时，比较了测量线宽与实际线 宽的关系。此工作对于CD-SEM纳米尺度的精确测量学有一定的指导意义。 在粗糙表面相关电子谱的