等离子体喷及其光谱诊断的研究.pdf

论文摘要 等离子体喷束可以为新材料的合成提供新的方法，在金属表面处理及高分子 材料表面镀膜等方面有十分重要的意义。气体放电作为获得等离子体的一种主要 途径，在民用和工业中得到了越来越多的应用。等离子体的光谱不介入诊断在这 些相关领域具有重要的基础和应用意义。 本文总结了应用双原子分子发射光谱和原子发射光谱进行等离子体诊断的 原理和实现方法，针对不同的分辨率的光谱，提出了不同的振转温度测量方法， 并编写了相应的计算程序。本文还利用浓度调制光谱的1PEr检测提出了放电特 性的检测方法。浓度调制光谱技术是以瞬态分子的浓度正比于放电电流幅度的绝 对值为依据，即为瞬态分子的浓度调制频率是放电频率．厂的2倍。而在本实验采 用喷束放电的条件下，使用l厂和z厂均能检测到信号。原因是放电并不是连续进 行，而是在每个周期的负半周发生一次脉冲形式的放电，通过对脉冲信号作频谱 分析发现除了基波外还含有丰富谐波成分，因此采用l厂和可都能解调出光谱信 号。本文对这种旌加连续电压却发生脉冲式放电的现象给出了合理的解释。 本文包括lO章和一个附录，主要结果如下： 建立了一套交流放电产生N2等离子体喷束的装置。该装置可对氮气、氧气 和氩气等进行高达15kV连续放电。采用浓度调制光谱技术对放电辉光光谱进行 探测。以N：为例，束流中N：／N，高达6：l，