高峰值功率光调q266nm紫外激光器的研究.pdfVIP

摘 要 266nm紫外激光器在工业、微加工、光刻及微刻技术、高分辨光谱学、医学等方 面都有广泛的应用。本论文从理论和实验两方面对高峰值功率电光调Q266IlIn紫外激 光器进行了研究。论文的主要内容包括： 理论方面，由倍频效率的公式理论分析了非线性晶体的走离角以及晶体长度对倍 光的相位匹配角、有效非线性系数以及走离角等。对非线性紫外晶体四倍频相关的相 位匹配参数进行了对比分析。 实验方面，首先对Ⅺ)P晶体腔外四倍频的高峰值功率266nm紫外激光器进行了实 获得单脉冲能量34．9 光。最后，对Ⅺ)P晶体和BBO晶体四倍频得266姗紫外激光的实验结果进行了对比 分析。 关键词：紫外激光器高峰值功率 四倍频KDP晶体 ABSTRACT 266mul仃aViolet1弱er in uSed h嬲研dely i11dus仃y，IIlicro arld嘶cr0carved resolution mis