OTFC-1300离子源栅网更换作业指导书.docVIP

标题：OTFC-1300离子源栅网更换作业指导书 编号 共9页 第1页 一．作业目的：离子源尤其是栅网在使用过程中易受污，本作业过程完成离子源栅网等拆卸、清洗、组装、安装过程。 二．适用范围：HOC-1300DBI机离子源，Shincron-1350机离子源。 三．作业程序及作业要点 序号 作业程序 示图 作业要点 1 确认更换 离子源栅网在镀膜时最多使用150小时后更换 根据实际使用过程中离子源的状态也可提前更换。 2 拆卸 关闭总电源 确认离子源总电源关闭 注意关闭电源开关时的次序（气体流量控制电源→中和器电源→离子源电源→中和器RF电源→离子源RF电源。 拆卸离子源主体 准备好拆卸离子源所需要的工具(在专用工具箱内) 拆防污板 拿掉离子源主体外的圆筒状防污板 拆栅网盖圈 拆下用于固定栅网盖圈的六颗螺丝,拿掉离子源栅网盖圈 离子源使用后，主体的温度很高，作业过程应戴上绝热手套,避免烫伤。为了避免各部位螺丝的损坏,在拆装时要细心,内六交要卡到螺丝六穴的底部。 编制(日期) 标准化(日期) 会签(日期) 会签(日期) 会签(日期) 审核(日期) 标记 处数 更改文件号 签字 日期 标题：OTFC-1300离子源栅网更换作业指导书 编号 共9页 第2页 序号 作业程序 示图 作业要点 2 拆卸 拆电极螺丝 用3.0mm的内六交扳手拧下连接栅网电极的固定螺丝 用力适当,内六交要卡到螺丝六穴的底部 抬起栅网 两手小心地把栅网从离子源主体上抬起，正放到垫有柔软绸布的平整工作台上. 编制(日期) 标准化(日期) 会签(日期) 会签(日期) 会签(日期) 审核(日期) 标记 处数 更改文件号 签字 日期 标题：OTFC-1300离子源栅网更换作业指导书 编号 共9页 第3页 序号 作业程序 示图 作业要点 2 拆卸 拆石英腔室压环 拧下石英腔室上压环的螺丝,拆下压环。 取出石英腔室 轻轻转动一下石英腔室，小心取出放到垫有柔软绸布的平整工作台上,确保其它物品不碰撞石英腔室. 石英腔室为易碎品，拆卸时要特别小心,要轻拿轻放，避免碰撞和跌落；严禁拆卸石英腔室底部的气孔圈 编制(日期) 标准化(日期) 会签(日期) 会签(日期) 会签(日期) 审核(日期) 标记 处数 更改文件号 签字 日期 标题：OTFC-1300离子源栅网更换作业指导书 编号 共9页 第4页 序号 作业程序 示图 作业要点 3 清洗维护栅网 栅网拆解 把栅网小心反转,放在用于安装栅网的专用模具内,逐个拆下离子源上的8颗螺丝；取下各部件. 为避免栅网变形，螺丝要对角逐对拧松，严禁一个挨一个的拧掉每个螺丝。 保存好螺丝，金属垫片和陶瓷垫片；三层栅网应按上(DECELERATOR)中(ACCELERATOR)下(SCREEN) 顺序叠放，严禁逆序叠放； 清洁栅网 把三层栅网浸泡到洗净液中[浓度30％(BR-55)或35％的NaOH],浸泡时间根据使用状况决定； BR-55和NaOH为危险物品,使用时要特别小心。 戴上专用手套拿出栅网,用热清水漂净栅网上的残留溶液(边用热水清洗边用清洁布檫洗栅网表面,约洗10分钟以上,NaOH和赃物等将被洗净). 作业中要谨慎,以防止栅网变形. 编制(日期) 标准化(日期) 会签(日期) 会签(日期) 会签(日期) 日期 标记 标记 处数 更改文件号 签字 标题：OTFC-1300离子源栅网更换作业指导书 编号 共9页 第5页 序号 作业程序 作业要点 3 清洗维护栅网 清洁栅网 利用栅网匹配固定夹具固定住栅网,并用300#-400#的砂纸打磨栅网表面直到表面的赃物和变色消失为止,再用清水漂洗干净. 为避免栅网变形,每个固定孔都要对准夹具上的孔后再压紧螺丝.要彻底清洁干净固定孔部位的变色痕迹,可转换固定螺丝的部位,确保每个固定孔都能清洁到. 用气枪吹散栅网上的水分，放进喷沙机里对栅网孔的侧壁进行喷沙。 栅网易变形，在使用气枪和喷沙机时，气压不能过大(0.05～0.1Mpa)，喷沙枪头到栅网的距离应控制在20cm-30cm之间 用清水冲洗掉栅网上残留的金刚沙，然后再放在超声波清洗