mpr技术量材料热物性的研究.pdfVIP

结果表骥遗传算法能很好地对高相关性的参数进行拟合，因此是表征微 尺度薄膜热物性的一种有效工具。 3对各向异性介质受调铡激光柬辐照下的交变温度场分布进行研究。分 析了备向异性材料表面交交温度的幅频和栩频特性，以及材料不同剖面的 交变温度幅度及榴位分布，并考虑了材料光热属性对交变温度分布的影响。 此外，对利用MPR技术确定各向异性材料热扩散张量的可行性进行了研究， 得到了各向异性材料的MPR信号数学表达式，并详细讨论了不同情况下得 到热扩散张量方向和大小的方法。结果表明，采用MPR频响测量技术和径 向扫描测量技术能够有效地测得各向异性材料的热扩散张量的大小秘方 向，因j比可将英作为测量备向勇性材料热物性的一种新的方法。 关键词：调制光热反射，热物性，薄膜，多参数拟合，各离异性材料 H 湿度系数越大，光热反射傣号越强。 西前，MPR技术主要可以分为两种：(a)泵浦光与探测光共点入射于样品表面 鲶频率扫搂方法(F羚q锵ncyscal粕嘲。当调制频率改变甜，凇R幅度和裙位佰弩也 相应改变。(b)一定调制频率时改变泵演．探测光闻距的径自搠撼法(黜ldi8l Sc鼬’in窖)。当榉晶表谣系瀚-搽测光斑闯距不同时，MPR幅度和相位信号不同。 除了样品表面的交变遵度分矩姆光发射率因素岁}，榉悬表嚣数探测光光强大夺 对MP炱信号氇会产生影响。这是因为深测光斑并非瑗想点源，样晶表面探测光斑不 同位置的交变湿度不同，因此攥考虑搽测光寐在样品表瑟的光强分布对信号的影响， 一般认为MPR信号是样品表面不同位置交变温度与探测光光强分农的乘积【51。 §1．3M豫技术的实验装置 根握泵瀵光期探测懋是否菇轴哥把跚R实验椅燮分为两释潮，鲡翻1．1(a)、1．1㈣ 所示。由于光束聚焦税度的原因，图1．1(a)装置的横向空间分携搴必几个微米，露国 l-l(b)则可达到受微米嚣缀。对于这黼种构型，均可采用波长为488nm的氩离子激光 作为泵浦光，并经声光调制器进行强度调制后，聚焦在样品表嚣，在样品表瑟韵泵 浦光功率约为凡百毫瓦。而调制频率的范围为几十赫兹到几兆赫兹。探测光柬采用 He州。激搬，波长为633瓣，功率约戈几个毫琵。反射的探测光信号经过光电二极 管接收衙，送入领相放大器进行检测，褥剡MPR信号。 在黢l—l(鑫)辨示的泵清光与探测光非共轴入射时，泵浦和探铡光束通过不同的光 学元件进行聚焦。探测光在样蹑袭西的入射惫约戈60。。泵溃必抟聚焦是寤其有×50 强l—l泵浦先与探铡先A_射样品表面构型(a)非共轴(b)共轴 倍显微镜物镜实现的，而探测光荣的聚焦采用的是瞽逶的光学透镜。光路经调整厝 泵浦光的束腰半径可达到1“m，而探测束的束腰约为5um。虽然泵浦光获得了良好 。低较然仍率辨分间空号信，大较径半斑光柬光测探面表品样于由但，果效焦聚的 园j玩对泵浦粜进行聚焦主要是为了得猁较强的光煞信号雨菲增加空闯分辨率。放麓 系绞(奄括}{e．Ne激光器，透镜潋及光电接毂器俸)冒戳在象灌必斑串心菇原熹豹两个 。蠢分窝经戆)度瀑变交嚣表鑫样或(号绩腿M熬撵列德以，动移上囱方囊垂