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pmp中相算法与误差分析研究

PMP中相移算法与误差分析研究 光学专业 研究生Iit利嘉 指导教师最呈渝 摘 要 相位测量轮廓术(PMP)是~种基于条纹投影和位相测量的光学三维面形 测量技术,由于其具有非接触、全场性、速度快、高精度、自动化程度高等特 点,这种技术已在工业检测、机器视觉、逆向工程等领域获得广泛应用。 在实际应用中PMP测量精度受到相移的准确性、投影光场的正弦性、探测 器响应的非线性、相移算法选择的合理性、数码相机调焦误差等因素的影响。 本文对PMP中的相移算法和位相误差进行了系统的分析和研究:对近年来PMP 系统中采用的数字光投影器和数码相机,从位相误差的角度进行了研究;得出 了一些有益的结论。本文研究的主要内容和结果如下: 1.对探测器非线性响应引入的位相测量误差进行了理论分析和数值模拟, 比较了标准N帧相移算法对这一误差的抑制能力,得出了标准N帧相移算法对 探测器N一1阶以下非线性响应不敏感的结论。 2.介绍了相移算法的一种设计方法:特征多项式法。运用特征多项式法设 计出了三种能同时抑制相移误差和谐波(或探测器非线性响应)影响的误差补 偿新算法,数值模拟验证了新算法对误差的抑制效果。 系统投影正弦光栅条纹时DMD的时空特性对PMP的影响,得出了具有指导意 义的结论。 4.指出PMP系统中采用数码相机拍摄变形光栅条纹图时自动调焦误差会 对位相测量精度造成影响,提出了理论分析方法并给出了数值模拟结果,讨论 了减小或避免这一误差的办法。 关键词:相位测量轮廓术,相移算法,探测器非线性,特征多项式, 数字微镜器件,数码相机调焦误差 -k本文的工作得到国家自然科学基金的资助 onPhase—shift Study Algorithms ErrorsinPMP and of Analysis MajorOptiCS Zhou Advisor Su Graduate Xianyu Libing Abstract Phase all of3-D important shape MeasuringProfilometry(PMP)istechnique isbasedon and measurement,whichfringepatterns phase projection been usedinindustrial Ithas vision,inverse widely inspection,machine etcbecauseofthemerits and ofnoncontacLfull·field,high—precisionhigh-speed. The ofPMPis influencedthefactorssuchas measuringaccura

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